美国Tiger Optics微量水分析仪在超纯电子气行业的应用|埃登威自动化系统设备(上海)有限公司

美国Tiger Optics微量水分析仪在超纯电子气行业的应用

埃登威中国是美国Tiger Optics微量水分析仪中国总代理,负责美国Tiger Optics微量水分析仪在中国的销售和售后服务工作。

超高纯电子气体提纯/除杂/纯化原理与制备方法、特定元素控制技术及全流程工艺优化集成技术,研制开发微纳电子制造用氯气、氯化氢、氟化氢等超高纯电子气体,突破5N级气体制备技术及关键装备技术、ppm级气体杂质和ppb级金属离子检测技术、生产环境和颗粒控制技术以及产品包装与应用技术。美国Tiger Optics微量水分析仪在超纯电子气行业的应用

考核指标:超高纯气体氯气、氯化氢纯度5N7N,其中单种气体杂质(如H2OO2CO2COCH4)<1.0 ppmv,单种金属杂质(如AlCrCdCu)<1.0 ppbw;超高纯气体氟化氢纯度不低于5N,其中单种金属杂质(如AlCrCdCu)<1.0 ppbw美国Tiger Optics微量水分析仪在超纯电子气行业的应用

在超纯气中的微量水一般会是ppb级别的,采用美国Tiger Optics公司的微量水分析仪是测量超纯气体微量水的里想微量水分析仪。美国Tiger Optics微量水分析仪在超纯电子气行业的应用

美国Tigeroptics MTO/ HALO/HALO+系列产品是全球zui先进技术光腔震荡衰减技术*产品。微秒级反应,zui低检测限0.2ppbv,无需维护。在HCL、NH3等特殊气体 及各常规气体中的水分含量、氧分含量检测中有广泛应用。全球国家标准实验室指定水分仪。美国Tiger Optics微量水分析仪在超纯电子气行业的应用

光腔衰荡光谱法已经被定为国家标准

CRDS水分测试法已经被定为国家标准

TIGEROPTICS水分仪国标号GB/T 5832.3-2011

CRDS已经被定为国家标准GB/T 5832.3-2011

TIGEROPTICS水分仪已经被定为国家标准GB/T 5832.3-2011

TIGEROPTICS水分仪已经被定为国家标准

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