美国Tiger Optics微量水分析仪在超纯电子气行业的应用
埃登威是美国Tiger Optics微量水分析仪总代理,负责美国Tiger Optics微量水分析仪在的销售和售后服务工作。
超高纯电子气体提纯/除杂/纯化原理与制备方法、特定元素控制技术及全流程工艺优化集成技术,研制开发微纳电子制造用氯气、氯化氢、氟化氢等超高纯电子气体,突破5N气体制备技术及关键装备技术、ppm气体杂质和ppb金属离子检测技术、生产环境和颗粒控制技术以及产品包装与应用技术。美国Tiger Optics微量水分析仪在超纯电子气行业的应用
考核指标:超高纯气体氯气、氯化氢纯度5N~7N,其中单种气体杂质(如H2O、O2、CO2、CO、CH4)<1.0 ppmv,单种金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu)<1.0 ppbw;超高纯气体氟化氢纯度不低于5N,其中单种金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu)<1.0 ppbw。美国Tiger Optics微量水分析仪在超纯电子气行业的应用
在超纯气中的微量水一般会是ppb别的,采用美国Tiger Optics公司的微量水分析仪是测量超纯气体微量水的里想微量水分析仪。美国Tiger Optics微量水分析仪在超纯电子气行业的应用
美国Tigeroptics MTO/ HALO/HALO+系列产品是全球zui先进技术光腔震荡衰减技术*产品。微秒反应,zui低检测限0.2ppbv,无需维护。在HCL、NH3等特殊气体 及各常规气体中的水分含量、氧分含量检测中有广泛应用。全球国家标准实验室指定水分仪。美国Tiger Optics微量水分析仪在超纯电子气行业的应用
光腔衰荡光谱法已经被定为国家标准
CRDS水分测试法已经被定为国家标准
TIGEROPTICS水分仪国标号GB/T 5832.3-2011
CRDS已经被定为国家标准GB/T 5832.3-2011
TIGEROPTICS水分仪已经被定为国家标准GB/T 5832.3-2011
TIGEROPTICS水分仪已经被定为国家标准
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