Michell Pura高纯气体露点仪可以测量ppb级别微量水用于半导体
--专为高度纯净的气体应用场合测量微量湿度而设计的经济型变送器，埃登威价格超低。
结构坚固的自给式湿度计。
在很多超纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。 主营:微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析仪
Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。 Michell Pura高纯气体露点仪可以测量ppb级别微量水用于半导体
亮点
测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)
测量稳定，重复性好
高度集成的采样装置
模拟和数字输出
安装简便
VCR 过程接口
设计紧凑小巧 主营:微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析仪
显示/报警单元可选
PuraMichell Pura高纯气体露点仪可以测量ppb级别微量水用于半导体
技术指标
传感器
传感器类型 密析尔陶瓷湿度传感器
量程 -120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;Michell Pura高纯气体露点仪可以测量ppb级别微量水用于半导体
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)主营:微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析仪
分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
压力 *** 10-9 torr; 24 MPa
气体流量 1 ~ 5 Nl/min
电气
电源 通常 24 V DC, ***10 V ~ 28 V , 电流 25 mA
输出 4-20 mA 输出, 对应范围可由专用软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)
负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)
输出出错状态 标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
机械性能 ?
传感器套筒 不锈钢, 0.1-0.2 Ra ?m 电镀内抛光主营:微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析仪
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气路连接端口 Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安装配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙
底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ?" VCR 端口中
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180gMichell Pura高纯气体露点仪可以测量ppb级别微量水用于半导体
包装 Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装
所有选配件: 独立包装运输主营:微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析仪
Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作
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应用
半导体/电子业
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