半导体单晶炉惰性气体保护中使用美国GE Oxy.IQ微量氧分析仪监控|埃登威自动化系统设备(上海)有限公司

半导体单晶炉惰性气体保护中使用美国GE Oxy.IQ微量氧分析仪监控

半导体工艺设备为半导体大规模制造提供制造基础。摩尔定律,给电子业描绘的前景,必将是未来半导体器件的集成化、微型化程度更高,功能更强大。这里先介绍半导体工艺的头道工序——单晶体拉胚的单晶炉。


单晶炉

单晶炉,全自动直拉单晶生长炉,是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。主营:微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析

单晶硅炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如 120、150 等型号是由投料量决定, 85 炉则是指主炉筒的直径大小。半导体单晶炉惰性气体保护中使用美国GE Oxy.IQ微量氧分析仪监控

单晶硅炉的主体构成由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。
氩气系统由不锈钢管、电磁截止阀、质量流量控制器、减压器、手动截止阀和柔性波纹管道构成,在炉子的运行过程中向炉子内提供氩气。炉子上有两个氩气入口(副炉室顶部和炉盖喉部)由质量流量控制器控制,另一个氩气入口(隔离阀座后部)是快充口,不由质量流量控制器控制。氩气由副炉室顶部的分流环分配以减少副炉室内的紊流。主营:微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析

1 质量流量控制器

质量流量控制器为氩气进入主炉体提供精密的流量控制。

单晶硅的制备工艺不同,所得到产品的纯度和性能差异很大,因此其下游应用领域也有所区别。单晶硅在日常生活中是电子计算机、自动控制系统等现代科学技术中不可缺少的基本材料。电视、电脑、手机、汽车,处处都离不开单晶硅材料,单晶硅作为科技应用普及材料之一,已经渗透到人们生活中的各个角落。半导体单晶炉惰性气体保护中使用美国GE Oxy.IQ微量氧分析仪监控


美国GE OXY-IQ氧分析仪是GE Panametrics O2X1氧变送器的更新型号,GE Panametrics oxy-iq氧变送器是一种高度可靠和具有成本效益的双回路氧分析仪,线性化的4至20 mA输出。可以测量ppm的范围内的氧气和百分比范围的氧。所有的范围是用户可选择的。这个紧凑的发射机采用先进的传感器技术,准确地测量各种气体中的O2,即使在危险的环境中(特殊环境请提前告知)主营:微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析

GE Panametrics的oxy.iq是由一个微处理器,允许用户选择的控制范围,调整输出进行校准。编程是使用键盘和显示器很容易做到。紧凑的oxy.iq设计容易适合任何安装位置可以在取样点安装正确。

产品特点:

l 本质安全可选

l 燃料电池氧传感器技术

l 一个可选择的PPM和百分之比

l 友好和直观的用户界面与诊断半导体单晶炉惰性气体保护中使用美国GE Oxy.IQ微量氧分析仪监控

l 流程1/ 8“NPT连接在入口和出口(原装)或者KF40接口定制主营:微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析

l 全数字技术的可靠运行

l 低维护,经济和紧凑型

l 传感器失效输出误差

l 氧传感器寿命指标

l 误差指示

技术参数:

l 量程:氧气测量范围0~1.0000%(10000PPM) 、0-25%

l 精度:±0.01%

l 分辨率:±0.0001%

l 线性:±1%FS主营:微量氧分析仪,药品残氧仪,露点仪,热导气体分析仪,GE流量计,OX-1氧传感器,顶空分析仪,红外气体分析仪,高温湿度仪,西门子U23分析仪,ppb微量水分析仪,OXY.IQ氧分析仪,烟气湿度仪,燃气热值仪,Kaye温度验证仪,L&W白度,仪激光氧分析仪,压缩空气露点仪,干燥机露点仪,激光气体分析仪,便携式露点仪,便携式微量氧分析

l 模拟输出:4~20mA
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