硅烷 硅烷气体 5N高纯硅烷气露点仪微量水微量氧分析仪如何选择
硅烷 硅烷气体 5N高纯硅烷气
英文名称：Sulfane
CAS号：7803-62-5
分子式：SiH4
分子量：32.12
规格：99.999%
包装：44L、47L钢瓶充装，也可根据客户需要，分装到8L的气瓶中
熔
点(101.325kPa)： -185.0℃
沸点(101.325kPa)： -111.5℃
液体密度(-185℃)： 711kg/m3 硅烷 硅烷气体 5N高纯硅烷气露点仪微量水微量氧分析仪如何选择
气体密度(0℃，100kPa)： 1.42kg/m3
相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：1.114
比容(21.1℃，101.325kPa)： 0.7518m/kg
气液容积比(15℃，100kPa)：412L/L
临界温度： -3.4℃
临界压力：4843kPa
硅烷有毒。硅烷在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。
硅烷广泛应用于微电子、光电子工业。可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅、异质硅、各种金属硅化物等。因为它高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷 硅烷气体 5N高纯硅烷气露点仪微量水微量氧分析仪如何选择
硅烷气是太阳能电池生产过程中不可或缺的材料，因为它是将硅分子附着于电池表面的*有效方式。在高于400℃的环境下，硅烷气分解成气态硅和氢气。氢气燃烧后，剩下的就是纯硅了。此外，硅烷气可以说是无处不在。除了光伏产业外，还有很多制造工厂需要用到硅烷气，如平板显示器、半导体、甚至镀膜玻璃生产厂。
便携式氧分析仪G9600资料
应用：
。空气分离和液化
。纯气态碳氢化合物流路监测
。半导体制造业硅烷 硅烷气体 5N高纯硅烷气露点仪微量水微量氧分析仪如何选择
。初级液体给料和可燃液体保护气层的操作
。气态单体过程分析──氯乙烯，丙烯，丁二烯，乙烯，橡胶
。气体纯度鉴定
。手套箱或管路泄漏检测
。天然气处理和传输
。催化剂保护
。异型金属的惰性气体焊接
。波峰和回流焊接
。热处理和退火
。核燃料处理和同位素分离
。化学反应分析
。晶体培育
。塑料制造业
技术参数：
量程：0～10/100/1000ppm，0～1%/5%FS，自动切换
精度：<1%FS
测量介质：惰性气体、氦气、氢气、混合气体和（CO2）酸性气体
先进的S8201传感器，零维护，使用寿命24个月
本安专业设计
5个标准分析量程硅烷 硅烷气体 5N高纯硅烷气露点仪微量水微量氧分析仪如何选择
入口压力：0.3-2公斤
自动或手动选择量程
不锈钢旁路取样系统
防水外壳
测量原理：燃料电池法
校准：建议采用含氧量为80%FS的标准气
补偿方式：温度补偿
气路连接：1/8"卡套接头
控制：防水按键；菜单驱动量程选择、校准和系统功能
显示：大屏幕液晶显示，显示分辨率0.01ppm；
电源：可充电电池，充电周期60天（带泵工作为1天）
响应时间：T90小于10秒
取样系统：流量控制阀、取样/旁路切换阀、流量计
灵敏度：\<0.5%FS
可选配件：
手提式便携箱
其它取样调节配件
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