四氟化碳气体四氟甲烷微量氧分析仪用ADEV品牌
产品名称:四氟化碳 四氟化碳气体 四氟甲烷 全氟化碳
产品等级：分析纯
产品纯度：99.999%
包装规格：40L
英文名称:carbon tetrafluoride
英文别名:Tetrafluoromethane
CAS:75-73-0
EINECS:200-896-5
分子式:CF4
分子量:88
物化性质:- 熔点:-184℃
相对密度:-128
用途:用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂四氟化碳气体四氟甲烷微量氧分析仪用ADEV品牌
四氟化碳是目前微电子工业中用量Zui大的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。
1. 可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。
2. 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、
泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
3. 由于化学稳定性极强，CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。四氟化碳气体四氟甲烷微量氧分析仪用ADEV品牌
4. 四氟化碳的溶氧性很好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的深度内，小白鼠仍可**脱险。
便携式氧分析仪G9600资料
应用：
。空气分离和液化
。纯气态碳氢化合物流路监测
。半导体制造业
。初级液体给料和可燃液体保护气层的操作
。气态单体过程分析──氯乙烯，丙烯，丁二烯，乙烯，橡胶
。气体纯度鉴定
。手套箱或管路泄漏检测
。天然气处理和传输
。催化剂保护四氟化碳气体四氟甲烷微量氧分析仪用ADEV品牌
。异型金属的惰性气体焊接
。波峰和回流焊接
。热处理和退火
。核燃料处理和同位素分离
。化学反应分析
。晶体培育
。塑料制造业
技术参数：
量程：0～10/100/1000ppm，0～1%/5%FS，自动切换
精度：<1%FS
测量介质：惰性气体、氦气、氢气、混合气体和（CO2）酸性气体
先进的S8201传感器，零维护，使用寿命24个月
本安专业设计
5个标准分析量程
入口压力：0.3-2公斤
自动或手动选择量程
不锈钢旁路取样系统
防水外壳
测量原理：燃料电池法
校准：建议采用含氧量为80%FS的标准气
补偿方式：温度补偿
气路连接：1/8"卡套接头
控制：防水按键；菜单驱动量程选择、校准和系统功能
显示：大屏幕液晶显示，显示分辨率0.01ppm；
电源：可充电电池，充电周期60天（带泵工作为1天）
响应时间：T90小于10秒
取样系统：流量控制阀、取样/旁路切换阀、流量计
灵敏度：\<0.5%FS
可选配件：
手提式便携箱
其它取样调节配件
更多四氟化碳气体四氟甲烷微量氧分析仪用ADEV品牌信息请直接致电埃登威上海021-55581219
