半导体制造业微量氧分析仪G1501可测量低ppm级氧含量
氮气的使用出现在整个生产过程中，从净化泵到减排。氮气也被使用于加工过程，特别是如今FAB的尺寸在不断增长的情况下。在一家现代化的半导体制造厂，每小时使用多达50000立方米的氮气。
为满足这一需求，半导体制造厂在现场安装氮气发生器。安装这样的发生器意味着生产过程中的氮气供应变成廉价、高效、随时可用。
只要氮气**地储存在发生器内，并被正确使用，就不会有健康风险。然而，如果发生器或供应链中出现泄漏，氮气就会溢出，并很快耗尽周遭的氧气。由于氮气是无色无味的，所以工作人员无法监测到。半导体制造业微量氧分析仪G1501可测量低ppm级氧含量
与氮气一起，氩气体被用于半导体制造，*为人所知的是溅射气体。和氮气一样，氩气也会消耗周遭的氧气，且无色无味。在封闭的环境中，气体消耗氧气并引起呼吸问题，*终导致窒息。
氧气分析仪可以测量氮气发生器产生的气体中的氧气含量，以确保生产中使用的气体纯度。氧气分析仪是低浓度分析的理想仪器，可测量从0 ppm到1000 ppm。仪表上的氧气浓度一目了然，确保氮气发生器正常工作。当与氧气监测器结合使用时，氧气分析仪可以简化并保护半导体制造过程。
ADEV公司G1501微量氧分析仪采用的S8201微燃料电池测量样气中的微量氧。S8201氧传感器的精度，灵敏度和易使用性符合工业标准，并且提供1年的质保。 期望寿命为2年。由于每一个S8201传感器的生产都遵循一定的质量控制程序，经过严格的测试，所以可以确保其的可靠性性能。S8201传感器是一个密封的电化学设备，不需要更换电解液或清洗电极，因此不存在维护问题。该传感器只对氧有响应，可以准确地监测几乎100％的碳氢化合物样气中的氧。
半导体制造业微量氧分析仪G1501可测量低ppm级氧含量
环境空气标定，不需辅助气体
高精度和快速响应的G1501不需辅助气体即可进行标定。 微燃料电池产生信号的线性范围为0 ppm到100％O2，所以用户可采用环境空气（209500 ppm O2）进行标定。该仪器也可用ppm O2量程气进行快速标定。G1501带有一316不锈钢的气体处理系统，内有盘装式流量计。
系统
除G1501单机外，还提供各种预处理系统、特殊传感器等，以满足各类用户的需要。
优势 3个用户可选线性量程
从计算机进行完全远程控制
不需维护、寿命更长的传感器
环境空气标定
自动量程转换
性能半导体制造业微量氧分析仪G1501可测量低ppm级氧含量
量程： 0-10/100/1000ppm/25%自动切换
标定量程： 0-25%
精度: +/- 2%FS
灵敏度: 0.5%FS
操作温度: 0-50℃
响应时间: 90% < 60 s
信号输出: 0-1VDC, 4-20mA, 订货时需要明确
*大负载： 4-20mA, 1000ohms
数据传输： RS485
开关量输出：2路报警，继电器触点容量24VDC 0.2A
氧传感器： ADEV微燃料电池 S8201（一般可用2年）
接液材质： 316不锈钢
样气连接： 1/4" 或6mm接头或1/8"
应用区域： **区
安装： 盘装
尺寸： W*H*D=275*190*300mm
重量： 约6.8公斤半导体制造业微量氧分析仪G1501可测量低ppm级氧含量
电源：85-264VAC, 50-60Hz
应用
－空分
－气态纯碳氢化合物流监测
－半导体生产
－可燃液体的保护气氛
－气态单体－氯乙烯，丙烯，丁二烯，乙烯过程监测
－气体纯度分析
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