Tigeroptics HALO KA微量水分分析仪在半导体行业的应用
tigeroptics HALO KA微量水分分析仪小巧、实惠、功能强大，为您带来:
在一系列气体中检测湿度的万亿分之一(ppt)
体积小
**测量(无需校准)
成本低，操作容易Tigeroptics HALO KA微量水分分析仪在半导体行业的应用
广泛的动态范围-超过4个数量级
包括:速度+性能升级智能动态数据处理提高了分析仪的响应速度，同时保持了低噪声性能.
tigeroptics HALO KA微量水分分析仪技术参数
操作范围 请参阅图片
*低测量极限 请参阅图片
灵敏度（σ） ±0.75% or 1/3 of LDL
精度（取大值） ±4% or LDLTigeroptics HALO KA微量水分分析仪在半导体行业的应用
响应速度 ＜3分钟 to 95%
环境要求 10℃-40℃ , 30℃-80% RH（non-cond）
储存温度 -10℃--50℃
内部管路材料 316L不锈钢（选配:哈氏合金Hastelloy）10Ra表面光洁度
气体接口 1/4“ male VCR入口和出口Tigeroptics HALO KA微量水分分析仪在半导体行业的应用
泄露测试 1×10-9 mbar 1/sec
入口气体压力 10-125psig(1.7-9.6bar)
流量 0.05--1.8slpm
样品气体 惰性气体、有毒气体、活泼或腐蚀性气体
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