TigerOptics微量水分析仪HALO LP半导体工厂高纯度气体和系统应用
应用
基于Tiger的性能，SEMI F-112标准将CRD作为确定高纯度气体系统水分干燥特性的优选技术。为了检查输入或使用点的质量，Tiger的CRDS分析仪会监测O2、H2O、CH4、CO、CO2和更多气体，直至十亿分之一（ppb）甚至万亿分之一（ppt）水平。HALO LP是一种特殊的低压型号，用于监测氢化物中的杂质，包括砷化氢、磷化氢和氨。如果需要在纯氨中测量低ppb水分，ALOHA+H2O专门用于此应用。
TigerOptics微量水分析仪HALO LP半导体工厂高纯度气体和系统应用
在钢瓶和卡车加注期间，以及在气体输送、储存和分配系统中，大气泄漏的可能性很高，这就要求世界领鲜的半导体工厂进行连续的现场生产监控。通常，监测H2、N2、Ar、He和O2的痕量H2O、O2和CH4污染。可监测的其他污染物包括CO、CO2和酸性气体。
*近在测量列表中添加的空气和CDA满足了zui新的光刻要求。为了鉴定新的输气管线和焊缝，通常使用干氩和氮气。为了确保整个工厂的气体质量，除更换气瓶后的管线和净化器外，还对气瓶进行监控，以验证其功能。TigerOptics微量水分析仪HALO LP半导体工厂高纯度气体和系统应用
选择的应用程序包括：
散装气体监测专用气体高纯度管道鉴定
Tiger微量水分析仪应用选型一览TigerOptics微量水分析仪HALO LP半导体工厂高纯度气体和系统应用
散装气体分析用分析仪范围概述
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