ADEV微量氧分析仪校准方法检定规程工作原理
在空气分离和电子芯片产品领域，高纯气体和电子气体的纯度非常重要，其中氧气是重要的杂质之一，其含量≤5μmol/mol。为了控制产品质量，空分厂商和电子芯片厂商都配备了大量的微量氧分析仪来监测高纯气体和电子气体中的氧含量。通常来说我们都会为您推荐ADEV微量氧分析仪。
为保证微量氧分析仪测量结果的准确性，采用微量氧分析仪校准装置对微量氧分析仪进行校准，校准依据为jjg945-2010微量氧分析仪。我院建立了微量氧分析仪校准装置并开展了校准工作，有效保证了我省微量氧分析仪量值的溯源性和统一性。
微量氧分析仪根据使用场所的不同可以分为两大类。一个安装在实验室，检测瓶装高纯气体中的微量氧。一是安装在生产现场管道上的微量氧分析仪，长期连续监测高纯气体中的微量氧含量。由于空气中含有大量的氧气，为了避免拆装时空气中的氧气对管道的污染，空分和电子芯片厂家很难将这样的微量氧分析仪送到计量院的实验室进行检定，需要计量部门到现场进行在线计量检定。ADEV微量氧分析仪校准方法检定规程工作原理
目前，我国各测量单位使用的微量氧分析仪校准装置主要由气体标准物质、减压阀、四通阀取样装置、管道等组成。该装置固定在测试区域，不能移动或拆卸，因此微量氧分析仪必须由客户送到计量所进行校准，但在线微量氧分析仪很难开展校准工作。
根据检定规程的要求，使用的气体标准物质包括零气体、20% FS、50% FS和80% FS氮氧气体标准物质，分别引入微量氧分析仪进行检定。氧气标准物质1和氮气中的零点气体2经过减压阀3和调节阀4后连接到四通阀取样装置5，*后连接到微量氧分析仪6进行检测。检定气路连接示意图见图1。
四通阀取样装置只能接两路气体，检定工作时始终有一路接零气，需要反复更换20% FS、50% FS、80% FS氮氧标准物质。由于空气中含氧量较高，每次更换气标准物质后，都要用气标准物质冲洗管道。吹扫系统使氧含量从21%平衡到10μmol/mol需要(1 ~ 2)小时，消耗大量气体标准物质，效率低，检定成本高。因此，有必要开发一种新的采样系统，以便于验证。ADEV微量氧分析仪校准方法检定规程工作原理
技术要素:
为了提高检定效率，降低检定成本，本发明提供了一种应用于便携式微量氧气分析仪检定校准装置。
本发明提供了一种便携式微量氧气分析仪校准装置，包括三个标准气体供给装置、零点气体供给装置、四通道采样装置和移动平台。
其中，四通道取样装置包括减压阀、调节阀、四通阀、五通阀、脱氧管和不锈钢管道；每个标准供气装置并联后分别通过不锈钢管道与五通阀连通，五通阀再与四通阀连通，零点供气装置串联后依次与脱氧管和四通阀连通。ADEV微量氧分析仪校准方法检定规程工作原理
优选地，零点供气装置通过不锈钢管道依次与减压阀和调节阀连接，两个调节阀通过脱氧管连接，脱氧管另一端的调节阀与四通阀的零点进气口连接，即依次为零点供气装置-减压阀-调节阀-脱氧管-调节阀-四通阀的零点进气口。
优选地，三个标准气体供应装置通过不锈钢管与减压阀和调节阀连接，减压阀通过不锈钢管与五通阀连接，五通阀的出气端通过不锈钢管与四通阀的标准气体入口连接。
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