Teledyne便携式真空计HPM456校准装置总代理哪家
便携式真空计校准装置主要由校准室、抽气系统和进气系统三部分组成。整体尺寸为450mm×400mm×750mm，总重量不到40kg。该装置的外形如图1所示。
便携式真空计校准装置的原理和结构如图2所示，RP为机械泵。TMP是分子泵；VC1是校准室；VC2是调压室；C1、C2和C3分别为直径约为0.02、0.1和11毫米的孔隙；V1和V10是截止阀；V2是全金属角阀；V3、V4、V5、V6为波纹管截止阀；V7和V9是球阀；V11是标准容积的阀门；G1和G4在监控真空表；G2和G3是全量程为133，1.33× 105 Pa的电容式薄膜真空计。Teledyne便携式真空计HPM456校准装置总代理哪家
1.校准室
校准室VC1是一个直径为200 mm的球形容器。球形结构是真空计量标准的理想结构，气体分子可以很容易地均匀分布在球体中。五个CF35法兰和两个8VCR接口设计在校准室的赤道上，用于安装被校准的真空计和参考标准。校准室和法兰采用SUS316L钢，内表面经过电解抛光和化学清洗，并通过高温脱气去除材料内部的气体。美国INFICON公司生产的电容薄膜真空计G2和G3安装在校准室内作为参考标准。Teledyne便携式真空计HPM456校准装置总代理哪家
2.抽气系统
泵送系统由主泵分子泵TMP、机械泵RP、全金属角阀V2、旁通泵送阀V3、孔板C3和阀V10组成。氮气分子泵的标称抽速为80L/s，通过一个全金属角阀与校准室相连。在全金属角阀和校准室之间，安装一个直径约为11mm的圆形薄壁限流抽气孔C3，其对氮气的电导约为10 L/s。分子泵的前级采用一个标称抽速为2L/s的机械泵，在机械泵和分子泵之间安装一个电磁隔离阀V1，用于在旁通排气阀V3打开时隔离分子泵和机械泵。Teledyne便携式真空计HPM456校准装置总代理哪家
3.进气系统
进气系统主要由稳压室VC2、阀门V5、V6、V7、V8和V11以及小孔C1和C2组成，其中阀门V7与气源相连。稳压室VC2是一个容积为2L的不锈钢容器，上面装有皮拉尼真空计G1。用静态比较法和静态膨胀法标定时，关闭阀门V8和V9，然后通过V7和V5(或V6)直接通入空气；用动态流量法标定时，通过阀门V7和V8向VC2通入一定压力的气体，然后关闭V7，打开V5(或V6)，再通过V8调节从VC2通入VC1的气体压力。
通用
200系列质量流量计和控制器规格(基于氮气)；标准温度和压力-0℃和760托
通用气体流量计和控制器
流速范围从0-10 sccm到0-500 slm。
？大流量可达15,000 slm。
？* *紧密度
？包括模拟输出
？不锈钢材料
？常闭控制阀
[气体流量计]
HFM 200 (0-10 sccm至0-25，000 sccm)
HFM 201 (0-25 slm至0-500 slm)
HFM 200与LFE (0-25 slm至0-15，000 slm)
[气体流量控制器]
HFC 202 (0-10 sccm至0-25，000 sccm)
HFC 203 (0-25 slm至0-500 slm)
HFM 200与LFE (0-25 slm至0-15，000 slm)
200系列
[流量计和控制器]
快速响应，低压降
300系列质量流量计和控制器规格(基于氮气)；标准温度和压力-0℃和760托
通用气体流量计和控制器
高响应、低压降型
流速范围从0-5 sccm到8000 slm。
？金属密封件
？包括模拟输出
？不锈钢材料
？常闭控制阀
[气体流量计]
HFM 300 (0-5 sccm至0-25，000 sccm)
HFM 301 (0-25 slm至0-1000 slm)
HFM 305 (0-1000 slm至0-3000 SLM)
HFM 306 (0-2500 slm至0-8000 SLM)
[气体流量控制器]
氢氟碳化合物302 (0-5 sccm至0-25，000 sccm)
HFC 303 (0-25 slm至0-1000 slm)
HFC 307 (0-1000 slm至0-3，000 slm)
300系列
[流量计和控制器]
数字、快速响应、低压降
300-D系列质量流量计和控制器规范(基于氮气)；标准温度和压力-0℃和760托
数字、高响应、低压差型
流速范围从0-5 sccm到8000 slm。
？金属密封件
？**
？或RS485输出。
？模拟输出
[气体流量计]
HFM-D-300 (0-5 sccm至0-25，000 sccm)
HFM-D-301 (0-25 slm至0-1000 slm)
HFM-D-305 (0-1000 slm至0-3000 SLM)
[气体流量控制器]
HFC-D-302 (0-5 sccm至0-25，000 sccm)
HFC-D-303 (0-25 slm至0-1000 slm)
HFC-D-307 (0-1000 slm至0-3，000 slm)
数字300系列
[流量计和控制器]
新型工业质量流量计
400-I系列质量流量计规格(基于氮气)；标准温度和压力-0℃和760托
新产品-工业应用Teledyne便携式真空计HPM456校准装置总代理哪家
流量范围从0-10 slm到0-2500 slm。
？**
？或数字模拟输出。
？各种气体的内置校正值
？带求和功能
？适合在恶劣环境下工作。
？它也可以与网络接口一起使用。
[气体流量计]
HFM-I-401(0-10秒至0-350秒)
HFM-I-405 (0-100 slm至0-2500 slm)
400系列
[质量流量计]
数字、快速响应、低压降
电源和显示器
高温型
流量范围包括
0-10 sccm至0-14000 slm
？高达200°C的高温
？不锈钢材料
【THPS-100单通道】
目录
操作指南
【THPS 400频道4】
目录
操作指南
NALL系列
PowerPods
[流量计和控制器]
【电源和显示】
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