TigerOptics半导体、电子和高清LED行业的ppb微量水分析仪气体分析解决方案
自2001年上市以来，Tiger Optics的腔衰荡光谱（CRDS）痕量气体分析仪凭借其优越的灵敏度、极高的稳定性和无与伦bi的正常运行时间，为半导体行业和其他微电子制造行业提供了支持。Tiger的CRDS分析仪无需定期维护，无需移动部件或耗材，具有内置校准和零漂功能，是世界领xian半导体工厂的优选。SEMI F-112仅基于我们的分析仪经验，指定CRD作为测定超高纯度气体及其各自输送系统的水分干燥特性的标准。
基于Tiger的性能，SEMI F-112标准将CRD作为确定高纯度气体系统水分干燥特性的优选技术。为了检查输入或使用点的质量，Tiger的CRDS分析仪会监测O2、H2O、CH4、CO、CO2和更多气体，直至十亿分之一（ppb）甚至万亿分之一（ppt）水平。HALO LP是一种特殊的低压型号，用于监测氢化物中的杂质，包括砷化氢、磷化氢和氨。如果需要在纯氨中测量低ppb水分，ALOHA+H2O专门用于此应用。
TigerOptics半导体、电子和高清LED行业的ppb微量水分析仪气体分析解决方案
Tiger光学分析仪产品组合还提供微量H2、H2O、O2、CH4、CO、CO2、Kr、NH3和Xe的散装气体监测，HB LED生产的超高压氨，微量H2O和HF的工具监测，以及环境HCl、HF和NH3的连续AMC监测。
Tiger Optics CRDS分析仪用于UHP气体分析的主要优势包括：
CO、CO2和CH4杂质行业*佳ppt级分析
连续、实时测量
高可靠性，低维护
响应时间（秒以内）
低拥有成本
无校准要求
无载气要求
易于安装、启动和使用
按行业划分的产品搜寻器
TigerOptics半导体、电子和高清LED行业的ppb微量水分析仪气体分析解决方案
Tiger Optics微量水分析仪应用
分子污染物
高纯度气体和系统
低温六锗外延
原子层沉积（ALD）
MOCVD
超高压氨和高亮度LED
超高纯氨
MOCVDTigerOptics半导体、电子和高清LED行业的ppb微量水分析仪气体分析解决方案
大气压电离质谱仪（APIMS）–EXTREL
探索用于AMC监控的Extrel。Extrel是一个Process Insights品牌。Extrel VeraSpec大气压力电离质谱仪（APIMS）设计用于半导体和其他高科技工业应用中使用的超高纯度（UHP）气体污染控制的可靠且可重复的低万亿次检测限。了解更多有关我们对关键杂质（包括O2、H2O、CH4、CO、CO2、NH3等）的实时、多物种监测的信息。
更多TigerOptics半导体、电子和高清LED行业的ppb微量水分析仪气体分析解决方案信息可直接致电埃登威上海13482246053
