Meeco微量水分析仪Servomex微量氧分析仪DF-310E在半导体电子气中的应用
我们都知道，高纯气体是集成电路、光伏、光纤等行业的重要基础材料。在大规模集成电路芯片生产过程中，气体中的气态、液态和固态杂质会对芯片质量产生重要影响。由于气体中微量氧和水的存在，高温合成的半导体器件表面容易形成氧化膜，这是影响器件寿命和性能的重要因素。
例如，外延生长是生产高质量集成电路的重要步骤，沉积层的杂质水平、厚度和微结构完整性取决于沉积工艺中所用气体的纯度。当气体中杂质过多时，外延层会形成“暗礁”，产生晶格缺陷等后果。因此，高灵敏度的气体检测在半导体制造中显然是必要的，这样的关键设备能够国产化是非常可喜的。我们也希望更多的高科技设备能够被国产设备所取代，这将有助于当地半导体行业向上发展。
Meeco微量水分析仪Servomex微量氧分析仪DF-310E在半导体电子气中的应用
净化气体产品可为许多半导体加工设备如晶体生长、外延、氧化、扩散、CVD、MOCVD、PECVD等提供超高纯度的工艺气体。需要测量生产超高纯气体和电子气体，以及低浓度标准气体和混合气体的制备。用于TIG轨道焊机氩气的净化和超高纯气体管道施工中氮气的检查和吹扫；需要测量净化超微量水氧分析仪、气相色谱仪(GC)、大气压离子质谱仪(APIMS)等各种气体分析仪器中的载气或零点气体。
Servomex微量氧分析仪DF-310E特性
非消耗性传感器，5年保修
工厂校准Meeco微量水分析仪Servomex微量氧分析仪DF-310E在半导体电子气中的应用
快速响应，从异常工作条件中恢复的时间短。
一种仪器适用于测量各种背景气体。
高稳定性，每年只需校准一次量程。无需定期更换已编程的测量单元。
低持有成本
检出限低，精密度高。
Servomex微量氧分析仪DF-310E应用条件
电源:22- 28V直流，110V交流1A(*大)或220V交流50/60Hz，*大功率35W。
零气体:无要求
范围气体:工作范围内O2和N2的任何混合气体
AquaVolt+的应用
AquaVolt+为以下场合提供准确的在线湿度监控:
l工业生产中的工艺气体
l产品净化过程中不同阶段产生的工业气体
l气罐填充操作
l气动系统中的仪表气源
aquavolt+是一种焊接保护气体，除上述应用外，还可用于以下情况:
半导体生产
特殊气体的应用。
l可移动手推车
l科学研究
工作原理:根据法拉第电解定律，AquaVolt的传感器吸收并电解浓度为百万分之一(ppm)或十亿分之一(ppb)的水分。方法是:所有样品水分被覆盖在两个螺旋电极上的P2O5薄膜吸收。电极放在一个空玻璃管中。当样气以已知流速进入电解池时，膜将吸收所有水分分子。在电极上施加电压后，每个水分子被电解，从而产生有限的电流。该电流是**的，并与吸收的水的分子量成比例。因此，这是测量样气中水蒸汽含量的一种准确而直接的方法。
特点:Meeco微量水分析仪Servomex微量氧分析仪DF-310E在半导体电子气中的应用
模块化设计:在一个19英寸的封装中有一个或两个模块化单元。剩余空间可与安装架灵活配置，以适应各种气体样品的检测。
可快速升级的软件:模块单元的软件可通过RS232接口轻松升级。
计量单位:基于微处理器的电子电路可以显示ppbV、ppmV、ppmW或摄氏和华氏露点。
五键用户界面:模式/确认键和简单的上、下、左、右四个键，使菜单操作快捷简单。
荧光显示:明亮易读的显示屏可直接现场显示数据，控制参数可现场设定。
输出可调:输出档位可在现场灵活变换。不需要更换电子元件或触摸内部元件。只需通过模式/确认键操作菜单，选择输出档位。
流量控制:从主菜单中选择样气后，微处理器自动将流量控制器调整到适当的控制点。
在线验证:通过简单的Delta流程可以方便地检查电解槽的工作状况。在线检查传感器的线性度和工作性能。实验室
埃登威公司我们服务的领域很广泛，覆盖了半导体、LED、计量院、微电子、气体厂、钢厂、化工等。经过多年运作，已经和液化空气集团、普莱克斯、林德、宝钢、亨通光导、上海至纯科技、三安光电、梅塞尔等行业公司保持长期的互信合作。
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