日本液空PPB级微量氧分析仪在半导体痕量氧测试中的应用
应用
●工业气体中氧浓度的测量・空分装置的气体纯度监测和控制・产品气体的气体纯度监测
・气体净化器的验证
●不同工艺的氧浓度测量
・覆盖气体的氧气监测和控制
●热处理炉氧浓度的监测和控制
反应堆
使用前注意事项
●务必使用不锈钢管或铜管作为取样管线。
●样品气体入口压力必须在49至294kPa（G）之间。•如果压力低于49kPa（G），则使用泵。
•如果压力高于294kPa（G），则使用调节器。
●灰尘和湿气日本液空PPB级微量氧分析仪在半导体痕量氧测试中的应用
•灰尘不得超过5μm。
•水分露点必须低于-10℃。
●确保分析仪出口处的废气在大气压力下独立排放。
气体出口管线中的压降或背压应小于±980Pa（G）。
●不相容气体（对测量产生不利影响的气体）
•酸性气体、卤素化合物、重金属腐殖质、，
有机溶剂等。
※本分析計の保証範囲は、納入品に限定し、納入品の故障に起因する損害、事故の補償は致しかねます。予めご了承下さい。
※本分析仪的保修范围**于产品本身，制造商不应对由此造成的任何损害进行赔偿。
AAK00014 201605/1000/ALJIM/M
米×英寸シリーズ日本液空PPB级微量氧分析仪在半导体痕量氧测试中的应用
ハーシェ型ガルバニ電池式微量酸素分析計
Hersch电池式微量氧分析仪
用途
● 各種産業ガス中の酸素濃度管理 ・空気分離装置の純度管理及び制御
型号，型号
MXN/Y MXN/S
原理打印机
哈谢型伽伐尼电池式Hersch Galvanic-cell
结构设计
面板组装、桌上兼用型Panel-mounting/Bench-top
可测量样品气体
N2, Ar, He, H2, Ne, CO, CH4, C2H4, C2H6, C3H6, C3H8, etc.
测量范围
0-10ppb~0-10000ppb之间1范围任意设定（※精度保证在0~50ppb以上的范围）0-10ppb to 0-10000ppb，one usre-settable range（accuracy guaranteed for a0~50ppb or high er range）
在0-0.1ppm到0-100ppm之间任意设定一个范围（※精度保证在0~0.5ppm以上的范围）0-0.1ppm到0-100ppm，one usre-settable range（accuracy guaranteed fora0~0.5ppm or high er range）
*小检测灵敏度低检测限制日本液空PPB级微量氧分析仪在半导体痕量氧测试中的应用
0.5ppb（0-50ppb范围）0.5ppb（0-50ppb range）
10ppb（0-0.5ppm范围）10ppb（0-0.5ppm range）
可重复性（精度）
±2.0%F.S.以内within±2.0%F.S。
稳定性（零）
±5.0%F.S.以内/24h within±5.0%F.S./24h
测量气体流量采样流量
100 ml / min. 133 ml / min.
测量气体压力Sample Gas Pressure
49~294 kPa (G)
气体入口接头Sample Gas Inlet
6.35mm VCR公（male）6.35mm SWAGELOK
气体出口接头Sample Gas Outlet
6.35 mm SWAGELOK
记录仪输出Analog Output
DC0-20/4-20mA（DIN5P）绝缘输出max.750Ω
DC 0-20 / 4-20mA (DIN 5P) max. load 750Ω (isolation)
外部接点外部接点
开路集电极（NPN）DC5~35V max.100mA
open collector (NPN) DC 5 to 35V max. 100mA
警报触点Alarm Contact
两点two points
通信端口通信
RS232C (9P)
数据存储器
1~60分钟（1分钟间隔）、1~24小时（1小时间隔）全500数据
1 to 60min. (1min. intervals), 1 to 24hr (1hr intervals) up to 500 data
电源/功耗/消费
AC 85~250V / 15W
环境温度、湿度Ambient Temp./Humidity
10~35°C ± 3°C / 24hr, RH 20~80% 10~35°C ± 5°C / 24hr, RH 20~80%
尺寸、重量Dimensions/Weight
335(W)×425(D)×335(H) mm / 15 kg
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