ADEV进口微量氮分析仪在氦气中测量的应用还可以测量氩中微氮
高纯气体中微量氧和氮组分的分析要求越来越广泛,要求也越来越高。在半导体行业,需要严格控制等离子刻蚀剂(如四氟化碳)、非均相TiO2光催化剂、光学晶体薄膜、二维石墨烯纳米电子材料、半导体薄膜外延生长的原料气体(如锗烷、磷烷、砷烷、高纯氨、高纯氢、高纯氖等)生产过程中的氧和氮含量。).如果过量的氧和氮进入生产过程,*终会影响半导体器件的质量,尤其是砷烷,过量的氧和氮甚至可以与之形成可燃混合物。在深冷精馏系统(如液氢系统)中,准确检测原料气中的微量氧氮含量,有助于降低氧氮杂质在精馏塔、换热器、连接管道等部件中固体堆积造成堵塞甚至爆炸的风险。在高压输电系统中,少量的氧气会氧化气体绝缘金属封闭开关的元件,导致设备绝缘性能下降,进而导致严重的放电事故。因此,准确测定高纯气体中微量氧和氮的含量具有重要意义。
仪器应用
空气分离过程;ADEV进口微量氮分析仪在氦气中测量的应用还可以测量氩中微氮
氩气净化厂;
氦气液化厂;
特种气体实验室;
半导体制造业
ADEV进口微量氮分析仪仪器特性:
纯氩或纯氦中微量氮的分析
一种稳定而灵敏的等离子体检测器
固态质量流量传感器控制器
l三个测量范围可以自由选择。
低维护,准确可靠的连续测量
仪器特性:
l受试部件:N2;
测量原理:等离子法(ped);
l测量范围:0-1 ppm/10 ppm/100 ppm;
l重复性:
l精度:ADEV进口微量氮分析仪在氦气中测量的应用还可以测量氩中微氮
l漂移:
l数字输出:1路系统状态,3路量程,1路校准;
输出:4-20mA独立输出;
L: TFT智能触摸液晶屏;
l样气压力:10-25 PSIG;;
l串行通信:RS232、RS485、Profibus
ADEV氦中微量氮分析仪
用于快速分析总硫或总氯。
测量原理:燃烧微库仑。
l检测对象:气体、液化石油气、液体和固体。
l适用于现代化实验室,测试范围从ppb到ppm。
l符合ASTM、ISO、IP、UOP、EN和SH/T标准,可同时分析氮和硫。
l快速生成样品队列和应用方法,TEIS软件控制整个检测过程。
l快速启动时间ADEV进口微量氮分析仪在氦气中测量的应用还可以测量氩中微氮
l操作简单,用户界面直观
l模块化自动进样器,分析大量样品时效率高,成本低。
l容量105位,2ml小瓶,三维自动注射
l对于液体样品,自动稀释和自动校准
l可选:自动气体和液化石油气取样器
l可控制检测器和反馈回路的温度,确保超低检测限、高稳定性和可靠性。
l高度自动化设计,自动控制*实验条件,降低维护成本,延长仪器寿命。
并且通过快速和简单地切换模块可以获得高产量。
更多ADEV进口微量氮分析仪在氦气中测量的应用还可以测量氩中微氮信息请直接致电埃登威上海公司13482246053