半导体微量水微量氧分析仪颗粒分析仪色谱仪CQC系统集成设计方案
大宗气体连续质量控制系统，该系统由分析仪、机柜、管道、调压器、PLC等运行分析设备，监测中水N2/O2/AR/HE/H2 Oxygen和THC含量，大宗气体质量净化过滤后的气体应进行监测，观察其纯度、粒径等指标是否高于实际工艺要求。目前重点在线连续监测气体中的氧含量、水含量和粒径，而间歇监测用于CO、CO2和THC杂质。测试结果将与其他测试参数（如压力、流量等）一起发送到控制室SCADA（监控和数据采集）。
质量监控半导体微量水微量氧分析仪颗粒分析仪色谱仪CQC系统集成设计方案
气体分析系统是一套以在线自动分析仪器为核心，采用现代传感技术、自动测量技术、自动控制技术、计算机应用技术，以及综合分析软件和网络的综合分析仪器。先进的气体在线自动检测控制系统，实施气体自动检测，可实现连续监测和远程监控，为设备长期稳定运行提供可靠保障
流水线设计
1.管道平行铺设，无交叉，整齐美观
2、管道上的阀门错开安装，便于检查、更换和操作
3、柜内管路无死角设计，保证分析的及时性半导体微量水微量氧分析仪颗粒分析仪色谱仪CQC系统集成设计方案
4、明确阀位号标识
5、EP管出厂前均经过严格的保压、氦检、吹扫
6、背部采用无背压设计，出厂前均经过测试
H2**
为确保**，氢气分析柜设计有多重**保证半导体微量水微量氧分析仪颗粒分析仪色谱仪CQC系统集成设计方案
1、排气、风速探头，保证氢气泄漏时，有足够的风量使分析柜内的氢气含量不至于爆炸极限
2.H2检测器，检测柜内氢含量
3、氢气截止阀，当风速计检测到风量低于设定值或氢气检测仪检测到含量高于设定值时，将切断柜内分析仪电源.源供应，并关闭氢气供应
微量水分析仪一般我们选择ppb级别的光纤衰荡技术的光能科技公司产品，微量氧分析仪我们一般选择日本液化空气空气的ppb微量氧分析仪。
大宗气体CQC系统是一个量测 N2、O2、H2 等大宗气体内之 H2O, O2, H2, CO, CO2, CH4, NMHC,N2,Ar 等不纯物及粉尘颗粒(Particle)分析。设计规划为按照气体纯度质量等进行。
更多半导体微量水微量氧分析仪颗粒分析仪色谱仪CQC系统集成设计方案信息请直接致电埃登威上海公司13482246053
