Tigeroptics HALO3水分分析仪在半导体特气微量水检测中的应用
Tigeroptics HALO3水分分析仪为用户提供了****的准确性，可靠性，反应速度和易于操作。在一个非常紧凑和经济的分析器设计中，具有老虎光学的强大的腔衰分光镜为基础的水分传感器，这个多功能的分析器允许用户测量大多数惰性，腐蚀性和有毒气体中的水分与一个设备。用户还享受自由的要求，如定期传感器维护，跨度校准，净化器更换和泵的重建。因此，tigeroptics HALO3水分分析仪是理想的适用于许多应用，其中水分测量是极其重要的。这些应用包括固定散装气体的连续质量控制，便携式移动分析车，过程工具监控，空气分离，气瓶质量控制和许多其他要求较高的应用。
tigeroptics HALO3水分分析仪特点
每十亿分之一(ppb)气体的湿度探测能力
**测量(无校准气体)Tigeroptics HALO3水分分析仪在半导体特气微量水检测中的应用
广泛的动态范围-超过4个数量级
拥有成本低，操作简单
清洁技术-无需外部校准气体
低天然气消耗，以节约稀有和昂贵的天然气
各种气体基质中的示踪级检测
tigeroptics HALO3水分分析仪技术参数
性能指标 请参阅图片
操作范围Tigeroptics HALO3水分分析仪在半导体特气微量水检测中的应用
灵敏度（3Q） 请参阅图片
精度（取大值） ±4% or 1/2 of LDL
响应速度 <1分钟 to 90%
环境要求 10℃-40℃，30%-80%RH（non-cond)
存储温度 -10℃--50℃
内部管路材料 316L不锈钢（选配:哈氏合金Hastelloy）10Ra表面光洁度
气体接口 1/4“ male VCR入口和出口
泄露测试 1×10-9 mbar 1/sec
入口气体压力 10-125psig(1.7-9.6bar)
流量 0.05--1.8 slpm
样品气体 惰性气体、有毒气体、活泼或腐蚀性气体
气体温度 小于60℃
尺寸 高×宽×深（英寸mm）
传感器标准尺寸 8.75×8.5×23.6（222×216×599）
外壳尺寸 8.73×19×23.6（222×483×599）
仪器重量 28 Ibs (12.7kg)Tigeroptics HALO3水分分析仪在半导体特气微量水检测中的应用
报警指示 2个程序设定点，1个系统失效报警继电器
电源要求 90-240VAC，50/60HZ
电源功率 *大40Watts
信号输出 隔离4-20mA输出
操作界面 5.6“LCD/触控屏
网络 10/100BaseT 以太网口，802.11g Wireless(选配)，RS-232
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