单晶硅氩气回收装置中准确检测氧含量使用ADEV在线微量氧分析仪
氩气作为一种保护气体包围在单晶硅和多晶硅的液面周围,可以保护单晶硅和多晶硅不被氧化。氩气是一种单原子气体,以原子状 态存在,在高温下没有分子分解或原子吸热的现象。氩气的比热容和热传导能力小,即本身吸 收量小,向外传热也少,所以氩气的存在还可以减少热能的散失,起到节能的作用。不仅如此 ,由于氩气在单晶炉内是流动的,所以还可以带走硅液中的挥发物,以及高温下的其他部位的挥发物,这样一来,就可以防止单晶硅或多晶硅液被沾污,而影响单晶硅的产品质量。另外,氩气从上而下形成均匀的层流从晶体表面掠过,可以带走结晶潜热,从而可以保证单晶硅正常生长。单晶硅氩气用量一般是多晶硅的4倍,单晶逐步替代多晶,需求大量氩气。因此，氩气回收系统成为单晶硅厂家的认可方案。单晶硅氩气回收装置中准确检测氧含量使用ADEV在线微量氧分析仪
单晶硅制造装置向废氩气贮槽导入含有氮气、氧气及一氧化碳的废氩气的工序、用去除所述废氩气中的固形物的预处理设备来去除所述固形物的工序、通过催化反应分别将所述氧气转化为水、将所述一氧化碳转化为二氧化碳的工序、及去除所述水、所述二氧化碳及所述氮气得到回收气体的工序，在通过将催化剂配置于双级压缩机内，仅用压缩热进行所述催化反应来得到所述回收气体的工序中，在预先用干燥机去除所述水后，用常温吸附塔吸附去除所述氮气、所述二氧化碳。由此提供一种使用简单且低成本的设备，就能够稳定去除从单晶硅制造装置排出的大风量氩气中所含的杂质气体的氩气。
在氩气回收过程中，需要实时在线检测氩气中微量氧含量的数值，以确认氩气的纯度，ADEV 8864H在线微量氧分析仪系统采用氧化锆原理，测试准确，具有4-20mA模拟输出，数据储存及RS485输出，测试范围0-10ppm,0-100ppm等可选。
此外，该ADEV微量氧分析仪还应用在：单晶硅氩气回收装置中准确检测氧含量使用ADEV在线微量氧分析仪
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