采用高纯气体分析检测气体中水含量的几种方法氧化铝电容法原理
氧化铝电容法是高纯气体中微量水分析的其中一种方法。在洁净环境下，温度在15~28℃之间，湿度在40%~70%的条件下进行测量。使用死体积小、内径小、管壁无吸附的不锈钢管，并选用涂有一层薄金的氧化铝薄膜作为电容器的电极。当高纯气体中的水分透过金薄层被氧化铝吸收时，电容器的阻抗会与水汽分压成一定的比例。通过测量电容器的介电常数变化，可以计算出水分含量。
除了氧化铝电容法，还有其他方法可以检测高纯气体中的水分含量。例如，可以使用压电法。通过涂有一种吸湿性物质的石英晶体吸收不同质量的水分时振动频率会有差异的特点，让样气和标准干燥气流经该晶体，产生不同的振动频率差，计算两频率之差即可得到样气的湿度。这种方法属于**测量法，稳定、不漂移，适合在线气体的连续测定。然而，在测试低湿度时响应慢，受气体流量影响，不能用于腐蚀气体的测试。
另外，还可以使用光腔衰荡光谱法来检测水分含量。一束单波长激光通入光腔后，光束在腔镜之间来回反射。当切断光源后，其能量就会随时间而衰减，衰荡速度与光腔自身的损耗和腔内被测组分（介质）的吸收有关。对于给定的光腔，其自身的损耗为常量。光能量衰减的速度与被测组分的含量有关。
在使用氧化铝电容式湿度计时，需要注意以下几点：首先，其测量范围通常为-110℃~+20℃。当被测露点较高时，会使得氧化铝电容式湿度计产生较大的漂移。其次，应注意温度系数。由于其对水汽分压产生响应因此应注意测量时气体总压的变化。*后，应避免灰尘、油污和测量时气体流量较大一般为3~5（L/min）。采用高纯气体分析检测气体中水含量的几种方法氧化铝电容法原理
氧化铝电容式湿度计具有较宽的响应范围从1μL/L（ppmv）到80%RH，可以远程安装和现场使用相对稳定响应较快、温度系数较小、与流量变化无关等优点。此外，对于水分有较高的选择性可以在较宽的温度和压力范围内使用日常维护量较小体积也相对较小。然而，该方法是间接测量，在高温操作或某些气体会引起漂移的情况下需定期校准以克服老化、滞后及污染等问题。
ADEV公司的便携式露点仪DP4600就是采用了该方法的露点仪。
露点仪采用氧化铝传感器，能够快速准确地测量气体的露点温度，特别适合低露点测量。它具有抗结露、防止污染等特点，纳米技术改变了材料的临界特性，可以测量低至-110℃的露点。采用高纯气体分析检测气体中水含量的几种方法氧化铝电容法原理
露点仪应用范围
适用于石油、石化、天然气、制药、食品、半导体、工业气体、标准气等领域
露点仪主要特点
★ 体积小，重量轻，易于携带，同时可用于台式
★ 可编程数据记录，可导入Excel数据
★ 露点温度曲线实时跟踪显示数据变化情况
★ 通用充电及数据接口，锂电池供电，通用电源适配器
★ 可选仿真软件在PC机上模拟仪器的操作采用高纯气体分析检测气体中水含量的几种方法氧化铝电容法原理
★ 不同温度、压力和湿度参数的自动换算
★ 自带流量显示功能，大液晶显示屏，操作简单
★ 免维护、寿命长：无任何消耗品，方便用户日常维护，寿命可达10年
★ 量程宽，可以选择-110℃到20℃多种量程组合，精度达到±2℃
★ 提供单点校准和多点校准，曲线校准功能
★ 超大容量存储空间，可达10000条数据记录，可手动或自动记录，记录间隔可任意调节
★ 多参数显示：℃（dp）、（dp）、ppmV、ppmW、μB 水蒸气压力、克/每立方米、LBS等.BS等
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