ADEV六氟乙烷微量水检测:新队员加入,守护半导体产业的质量|埃登威自动化系统设备(上海)有限公司

ADEV六氟乙烷微量水检测:新队员加入,守护半导体产业的质量

六氟乙烷,化学式为C2F6,是半导体产业中备受青睐的化合物。其出色的化学稳定性、微溶于水的特性、不易燃性以及高温下的稳定性,使其在众多应用中脱颖而出。但正如每个硬币都有两面,六氟乙烷在与可燃气体共同燃烧时会产生有毒的氟化氢,因此,安 全操作至关重要。

在半导体产业的每一个环节,六氟乙烷都发挥着不可替代的作用:从干法蚀刻到化学气相沉积,再到等离子体处理和离子注入,直至光刻胶剥离,它都是不可或缺的角色。ADEV六氟乙烷微量水检测:新队员加入,守护半导体产业的质量

ADEV六氟乙烷微量水检测:新队员加入,守护半导体产业的质量,然而,如此重要的化合物,其纯度与稳定性更是关键。微量水分可能会威胁到六氟乙烷的纯度与应用效果。举例来说,若用于半导体制造的六氟乙烷中含有水分,那么蚀刻效果、薄膜的生长及材料的表面性能都可能受到**影响。鉴于此,对六氟乙烷中的微量水进行**检测成为了行业内的迫切需求。

为了满足这一需求,ADEV推出了全新的微量水分析仪。这款分析仪采用了五氧化二磷(P2O5)原理的微量水探头,专门用于测量气体中的水分含量。探头设计的精妙之处在于其高科技的固态计算电路,它能准确、稳定地测量电解电流,进而确定水分含量。这种探头的灵敏度极高,几个ppm的水分含量都能被准确检测出来,无疑成为了气体中微量水分检测的理想工具。ADEV六氟乙烷微量水检测:新队员加入,守护半导体产业的质量

ADEV的这款新设备就如同一个守护神,确保六氟乙烷的纯度与应用效果达到预期,为半导体产业的稳定生产与质量提供保障。在未来的日子里,我们期待ADEV继续为行业带来更多**与突破。

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