BCB高温无氧烘箱与ADEV氧气分析仪的融合应用|埃登威自动化系统设备(上海)有限公司

BCB高温无氧烘箱与ADEV氧气分析仪的融合应用

一、时代背景

在当前时代,国产半导体行业正经历着****的飞速发展。随着行业规模的不断扩大,半导体加工技术的要求也日益提高。在这个高品质、高工艺要求的背景下,无氧烘箱技术成为了行业内的焦点。特别是在半导体烘烤工艺中,氧浓度的准确监控对产品质量起着至关重要的作用。

二、BCB高温无氧烘箱的应用和特点BCB高温无氧烘箱与ADEV氧气分析仪的融合应用

BCB高温无氧烘箱在现代工业中有着广泛的应用,其主要应用于航空航天、石油化工、电子通讯等科研生产领域。在半导体加工中,它主要用于BPO/PI/BCB固化、IC封装、FPD制造等工艺。

其特点如下:

  1. 使用陶瓷纤维保温材料,使得烤箱升温迅速且具有良好的节能效果。
  2. 拥有一个优良的送排风系统,确保工作区域温度均匀。
  3. 采用吸风玻璃纤维过滤器,确保工作区域的洁净度。BCB高温无氧烘箱与ADEV氧气分析仪的融合应用

为确保无氧环境,烘箱在操作过程中会充入惰性气体如氮气或二氧化碳,以去除箱内的氧气,从而防止高温下的氧化反应。

三、无氧烘箱氧浓度监控与ADEV氧气分析仪

为确保无氧烘箱的工艺效果,准确的氧浓度监控是必不可少的。无氧烘箱配备了氮气控制系统和延时加热功能,在加热前自动充入氮气,确保在加热前工作区域已经形成了低氧环境。此外,双流充氮能量控制技术也受到了许多用户的青睐。

而要实现上述功能,关键在于配备ADEV氧气分析仪。ADEV氧气分析仪为无氧烘箱提供了实时的氧浓度数据,确保工艺过程中的氧气浓度始终维持在设定范围内。这不仅提高了产品的质量,还为企业节省了大量的氮气资源,实现了经济效益与环境效益的双赢。

结论:BCB高温无氧烘箱与ADEV氧气分析仪的融合应用

随着半导体行业的飞速发展,无氧烘箱及其相关技术将在未来扮演更加重要的角色。而ADEV氧气分析仪作为无氧烘箱的眼睛,将为半导体加工提供更加**、可靠的数据支持,推动行业向更高品质、更高效益的方向发展。

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