高纯硅烷中的ADEV微量氧分析仪应用
高纯硅烷，一种在常温常压下表现为恶臭的无色气体，因其与金属卤化物的激烈反应以及与L`C'1的反应，不能使用氟里昂灭火剂。其熔点为-185℃，沸点为-111.5℃。提纯这种气体的工艺通常采用低温吸附连续液化精馏的方法。在生产过程中，为确保产品的质量和**，对气体成分的连续监控是至关重要的。高纯硅烷在半导体生产中有着广泛的应用，如用于生长高纯单晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃、非晶硅等化学气相淀积工艺。此外，它还被广泛用于非晶硅太阳能电池、硅复印机鼓、光电传感器、光导纤维、特种玻璃等的生产和研制。
为确保高纯硅烷的生产和应用过程中的安 全与效率，ADEV的OxyTrend微量氧分析仪发挥了不可或缺的作用。这是一款适用于**区域和危险区域应用的电化学氧分析仪，符合ATEX分类（1/21区）的标准。高纯硅烷中的ADEV微量氧分析仪应用
OxyTrend的主要特性如下：
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高精度、耐用和高**性：该电化学氧气分析仪设计精良，能够在各种环境和应用条件下提供持续、准确的氧气含量读数。
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宽应用范围：无论是ppm级别的微量氧气还是百分比级别的氧气含量，OxyTrend都能够进行**监测。
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用户友好：其宽显示屏和微处理器设计使得用户可以轻松读取数据和操作所有数字功能。菜单操作更是简便，只需通过玻璃光学按钮即可完成，即使在危险区域也能实现完整的功能。高纯硅烷中的ADEV微量氧分析仪应用
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安装灵活：OxyTrend防爆氧气分析仪适用于室内和室外安装，其电子元件封装在铝外壳中，而传感器外壳为316不锈钢，可以选择直通式或可选的KF-40连接。
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高性能：其电化学电池对许多背景气体和碳氢化合物的存在不敏感，使得该仪器适用于各种应用场景。此外，OxyTrend氧气分析仪具有18个现场可设置的ppm微量或百分比范围，并可以设置从0.01 ppm到100%FS的自由可配置范围。
此外，OxyTrend还具有双线、回路供电的4-20 mA变送器功能，如果使用RS485串行总线，它还可以提供四线或五线连接接口或4-20 mA+RS485。ModBus RTU主设备或从设备可以通过菜单选择。同时，它还可以通过RS485与ADEV 8RO4DI外部模块连接，该模块具有8个继电器输出和4个数字输入。所有这些功能都集成在一个易于使用的包中，具有用户友好的菜单和直观的界面。高纯硅烷中的ADEV微量氧分析仪应用
传感器技术方面，ADEV氧传感器基于电偶电化学燃料电池原理制造，并在严格的质量程序下进行生产。这些传感器在其整个测量范围内提供高水平的准确性、可靠性和线性。它们是独立的，维护需求极少，无需清洁电极或添加电解液。
总的来说，OxyTrend在高纯硅烷的生产和应用中发挥了至关重要的作用，确保了产品的质量和生产过程的安 全。
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