八氟环丁烷C4F8与ADEV G9600微量氧分析仪的应用|埃登威自动化系统设备(上海)有限公司

八氟环丁烷C4F8与ADEV G9600微量氧分析仪的应用

在半导体制程中,八氟环丁烷C4F8扮演着不可或缺的角色。为了更好地了解和应用这一关键化学物质,了解其分子结构及应用场景至关重要。

C4F8的分子结构由四个碳原子和八个氟原子组成,形成了一个完全氟化的环状结构。这种独特的结构赋予了C4F8一系列独特的物化性质,使其在半导体工艺制程中有着广泛的应用。八氟环丁烷C4F8与ADEV G9600微量氧分析仪的应用

C4F8在常温常压下为无色、无味的气态。其密度远大于空气,具有很强的电绝缘性,并且化学惰性强,耐高温。这些特性使得C4F8在干法刻蚀、制冷剂和灭火剂等方面都有着出色的表现。

在干法刻蚀方面,C4F8可以用于保护硅深孔的侧壁,提高硅刻蚀的各项异性。此外,它还可以作为刻蚀气体,适用于蚀刻氧化硅、氮化硅和其他低介电常数材料。C4F8通常与其他气体如氩(Ar)、氧气(O2)或氮(N2)混合使用以调整蚀刻过程,从而满足不同的工艺需求。八氟环丁烷C4F8与ADEV G9600微量氧分析仪的应用

然而,在半导体制造过程中,对C4F8中的微量氧进行**监测至关重要。在这方面,ADEV的G9600微量氧分析仪展现出了**的性能。

G9600具有宽泛的测量范围、高精度和快速响应的特点。其便携式外观设计和轻巧的重量使其成为各种工作环境中的得力助手。此外,G9600还采用了先进的传感器信号采集处理技术和全温度范围内补偿技术,确保了在不同温度条件下的准确测量。

为了满足实际使用需求,G9600的标准配置包括主机、1/8英寸不锈钢取样管路、内置流量计和电源适配器。ADEV还为用户提供两年的备品备件清单,其中包括微量氧传感器S8201,以确保长期使用的稳定性和准确性。八氟环丁烷C4F8与ADEV G9600微量氧分析仪的应用

结合C4F8在半导体制造中的广泛应用和ADEV G9600微量氧分析仪的技术优势,我们可以看到这一组合为半导体工艺制程提供了有力的保障。G9600的**测量能力、便携性和强大的处理分析能力使其成为C4F8气体监测的理想选择,有助于确保半导体制程的**性和稳定性。

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