单晶硅生产中氩气的使用及ADEV便携式微量氧分析仪G9600应用​|埃登威自动化系统设备(上海)有限公司

单晶硅生产中氩气的使用及ADEV便携式微量氧分析仪G9600应用

在单晶硅生产中,氩气起到了至关重要的作用。作为一种惰性气体,氩气可以有效地保护单晶硅和多晶硅不被氧化。在高温环境下,氩气以原子状态存在,不会发生分子分解或原子吸热的现象。
氩气的特性使其成为理想的保护气体。首先,由于氩气是一种单原子气体,它在高温下仍能保持稳定,不会与硅材料发生化学反应。其次,氩气的比热容和热传导能力相对较小,这意味着它不易吸收热量,也不易将热量传递出去。因此,氩气的存在能够减少热能的散失,有助于节约能源。
此外,流动的氩气还能带走硅液中的挥发物和其他杂质,从而防止单晶硅或多晶硅液被沾污。这确保了单晶硅产品的质量不受影响。另外,氩气从上而下形成均匀的层流,从晶体表面掠过,能够带走结晶过程中释放的潜热。这有助于单晶硅的正常生长,确保生产过程的顺利进行。

一、氩气在单晶硅生产中的应用

在单晶硅的生产过程中,氩气作为一种保护气体被广泛应用于各个工艺环节。首先,在拉晶过程中,氩气作为保护气体能够有效地防止硅熔体与空气中的氧气和氮气接触,从而避免了硅片表面的氧化和氮化,提高了硅片的纯度和质量。

其次,氩气还被用作热场和坩埚的填充气体,以维持稳定的温度和压力环境。此外,氩气还被用于控制硅棒的生长速度和形态,确保硅棒的稳定性和均匀性。单晶硅生产中氩气的使用及ADEV便携式微量氧分析仪G9600应用

单晶硅是半导体产业中使用*多的材料之一,是制造太阳能电池板、集成电路等器件的重要原材料。单晶硅的制造是通过将多晶硅材料通过拉晶技术生长成为单晶硅晶体,这是一个严格控制气氛和温度的过程。

气氛对拉晶过程的影响
拉晶过程需要保证晶体的纯度和均匀性,而气氛的控制是保证晶体质量的重要因素之一。在固液相转换时,气氛可以起到催化的作用,促进单晶硅的生长。此外,气氛的控制也可以抑制晶体表面的氧化作用,防止杂质的污染。
氩气在拉晶过程中的作用
氩气是一种惰性气体,在单晶硅拉晶过程中被广泛使用。它可以起到保护晶体表面的作用,防止氧化反应的发生。此外,氩气还可以控制气氛中的湿度和气压,提高晶体的生长速度和质量。
氩气使用量的影响因素单晶硅生产中氩气的使用及ADEV便携式微量氧分析仪G9600应用
氩气在单晶硅拉晶过程中的使用量会受到多种因素的影响。其中比较重要的因素包括工艺参数、晶炉尺寸、晶体直径等。一般来说,氩气的使用量在2-4立方米/小时左右。

二、ADEV便携式微量氧分析仪G9600在单晶硅生产中的应用

在单晶硅生产过程中,氩气的纯度对硅片的质量有着重要影响。为了确保氩气的纯度,ADEV便携式微量氧分析仪G9600被广泛应用于实时监测氩气的氧含量。单晶硅生产中氩气的使用及ADEV便携式微量氧分析仪G9600应用

该仪器具有高精度、高可靠性等优点,能够实现对惰性气体、碳氢气体、He、H2、CO2中的氧含量进行10ppb-10000ppm的分析。在单晶硅生产过程中,通过实时监测氩气的纯度,可以确保硅片的质量和性能。同时,该仪器还具有数据储存功能,可存储10000个数据,方便后续分析和处理。

此外,ADEV G9600便携式微量氧分析仪还具有快速响应、高灵敏度等优点,能够迅速准确地检测出氩气中的微量氧含量。这有助于及时发现并解决问题,确保单晶硅生产过程的顺利进行。

综上所述,氩气在单晶硅生产中扮演了重要的角色。它的特性使其成为理想的保护气体,有助于防止硅材料氧化、减少热能散失、确保产品质量以及促进单晶硅的正常生长。而ADEV G9600便携式微量氧分析仪在单晶硅生产过程中则能够实时监测氩气的纯度,确保硅片的质量和性能。这些技术的应用对于提高单晶硅的质量和性能具有重要意义。

单晶硅生产中氩气的使用及ADEV便携式微量氧分析仪G9600应用

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