单晶硅氧含量过高的后果及ADEV便携式微量氧分析仪G9600应用|埃登威自动化系统设备(上海)有限公司

单晶硅氧含量过高的后果及ADEV便携式微量氧分析仪G9600应用

一、单晶硅氧含量过高的后果

单晶硅作为现代电子工业的基础材料,其质量对于电子器件的性能和稳定性具有重要影响。然而,在单晶硅的生产过程中,氧含量的控制是一个关键环节。如果单晶硅中的氧含量过高,将会产生一系列有害影响。

首先,过高的氧含量会导致单晶硅内部产生缺陷。这些缺陷可能会降低硅片的机械强度,增加其脆性,使得硅片在加工过程中容易出现碎裂等问题。

其次,使用氧含量过高的单晶硅制作器件,即使其他参数如电阻率、寿命、位错等完全符合要求,也常常难以制作出合格的产品。这是因为氧元素在硅中的存在形式可能会影响器件的电学性能,导致器件性能不达标。单晶硅氧含量过高的后果及ADEV便携式微量氧分析仪G9600应用

此外,即使使用氧含量过高的单晶硅制作出的器件在出厂时检测性能合格,但在使用过程中,其性能也容易发生变化。这是因为氧元素在硅中的扩散和聚集可能会导致器件性能的漂移,降低器件的稳定性和可靠性。单晶硅氧含量过高的后果及ADEV便携式微量氧分析仪G9600应用

二、ADEV便携式微量氧分析仪G9600在单晶硅生产中的应用

为了有效控制单晶硅中的氧含量,提高硅片的质量和稳定性,ADEV便携式微量氧分析仪G9600被广泛应用于单晶硅的生产过程中。

该仪器具有高精度、高灵敏度等优点,能够实现对惰性气体、碳氢气体、He、H2、CO2中的氧含量进行10ppb-10000ppm的分析。在单晶硅生产过程中,通过实时监测氩气等保护气体中的氧含量,可以确保硅片的生长环境和保护气氛的稳定性,从而降低硅片中的氧含量。

同时,ADEV G9600便携式微量氧分析仪还具有数据储存功能,可存储10000个数据,方便后续分析和处理。这为生产过程中的质量控制和数据分析提供了有力支持。此外,该仪器的快速响应和高灵敏度也确保了实时监测的准确性和及时性。单晶硅氧含量过高的后果及ADEV便携式微量氧分析仪G9600应用

综上所述,ADEV便携式微量氧分析仪G9600在单晶硅生产中的应用对于控制硅片中的氧含量、提高硅片质量和稳定性具有重要意义。随着电子工业对单晶硅质量要求的不断提高,这种实时监测技术的应用将越来越受到重视。

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