半导体特气概述及ADEV QZ360露点仪介绍
在半导体制造过程中，特气是不可或缺的关键原材料。这些高纯度气体被广泛用于薄膜沉积、掺杂、蚀刻和清洁等核心工艺，为集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池和光纤等产品的制造提供了必要的支撑。
在所有这些特气中，高纯度气体具有非常重要的作用。这些气体必须具有极高的纯度，以保证生产出的半导体产品的性能和可靠性。一般来说，特气的纯度要求达到5N-6N（N表示纯度百分比中的9的个数，例如5.7N表示99.9997%，6N表示99.9999%），同时，金属杂质的含量也需要控制在极低的水平，通常在10-9级至10-12级之间。半导体特气概述及ADEV QZ360露点仪介绍
然而，即使达到了这样的纯度标准，如果气体中含有微量水分，也可能会对生产过程产生**影响。在半导体工业中，气体的微量水分对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。
现在，ADEV仪表推出了一款简单、经济的露点仪QZ360，可以用来在线测量气体的露点值。这款仪器基于石英震荡原理，能够测量下限低至惊人的-120°C (相当于不到1 ppbV)，为超纯气体中的微量水分测量提供了一个高效、精准的解决方案。半导体特气概述及ADEV QZ360露点仪介绍
QZ360露点仪变送器是基于ADEV仪表多年在石英震荡露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。它专为超高纯气体中的微量水分测量而设计，具有坚固而独立的传感器。
QZ360的使用和安装都非常简单，可以无缝接入纯气的过程应用中，并可提供可靠的测量结果。其传感器外壳由冷拉不锈钢制成，内部材料达到*小的吸湿性，洁净度达到清洁室标准。该变送器经过完整的校准和操作，并提供4-20mA的校准输出，能够方便地连接到ADEV的显示模块或控制系统。
此外，QZ360的设计具有*小的内部结构，确保了快速响应速度，并保证了湿度测量时的*快响应速度。传感器密封垫圈可以在*小压力10-9torr内工作，同时整个系统可承受的*大压力为240 Barg (3480 psi)。对于安装和操作来说，QZ360同样非常简便。其G1/2”外螺纹VCR气体接口的间距为 120mm，符合标准。整个产品的高度仅为150mm，重量小于500g。QZ360是一个两线或三线制的变送器，提供*大的操作灵活性和12-28V直流电源的供电。如果应用中需要显示露点值或湿度值，QZ360还可以提供两种显示方式，包括直接连接显示器或作为QZ360的电源。半导体特气概述及ADEV QZ360露点仪介绍
总的来说，ADEV QZ360露点仪为超纯气体中的微量水分测量提供了一个高效、精准的解决方案。这款仪器不仅满足了各种复杂和严苛的应用需求，而且其简单、经济的特性使得它在市场上具有显著的优势。随着科技的不断进步和应用需求的持续增长，相信这种高纯度气体测量技术将继续发挥更大的作用，为高科技产业的发展提供有力支持。半导体特气概述及ADEV QZ360露点仪介绍
