含氟电子特气Ppb微量水检测ADEV QZ360露点仪介绍|埃登威自动化系统设备(上海)有限公司

含氟电子特气Ppb微量水检测ADEV QZ360露点仪介绍

在半导体工艺中,含氟电子特气的应用广泛,从芯片生长到器件封装,几乎每一个环节都离不开这些气体。然而,含氟气体具有一定的危险性,包括毒性、腐蚀性、燃烧性等,因此对其纯度和稳定性的要求极高。在超纯气应用中,气体中残余的湿气对过程处理的正常运作至关重要,而对湿气的持续追踪测量却是一个难点。不过,ADEV仪表推出的QZ360露点仪为这一难题提供了有效的解决方案。含氟电子特气Ppb微量水检测ADEV QZ360露点仪介绍

QZ360露点仪是一款专门用于测量超高纯气体中微量水分含量的仪器。它基于ADEV仪表多年在石英震荡露点传感器生产和校验的专业经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。

QZ360露点仪的特点如下:含氟电子特气Ppb微量水检测ADEV QZ360露点仪介绍

  1. 测量下限低至-120°C(相当于不到1ppbV),能够准确测量超纯气体中的微量水分。
  2. 测量稳定,重复性好,能够提供可靠的测量结果。
  3. 高度集成的采样装置和紧凑小巧的设计,使得仪器易于安装和维护。
  4. 提供模拟和数字输出,能够方便地连接到控制系统或显示模块。含氟电子特气Ppb微量水检测ADEV QZ360露点仪介绍
  5. 可选的两线制、三线制和危险区域的型号,以及可自定义的产品设计,满足各种特殊需求。

在使用含氟电子特气的过程中,通过QZ360露点仪进行Ppb微量水检测,能够确保含氟气体的纯度和稳定性,从而提高半导体产品的性能和可靠性。随着半导体工艺的不断发展和进步,对含氟电子特气的需求将进一步增加,而QZ360露点仪在保障含氟气体质量方面将发挥更加重要的作用。

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