特气应用及半导体Ppb露点仪QZ360介绍|埃登威自动化系统设备(上海)有限公司

特气应用及半导体Ppb露点仪QZ360介绍

特气,即特种气体,广泛应用于集成电路制造、显示面板生产以及光伏电池生产等高科技领域。在这些领域中,特气的纯度、品种和性质都有着特殊的要求,是保证工艺过程顺利进行的关键因素。

在集成电路制造中,特气主要应用于清洗、刻蚀、成膜和光刻等环节。例如,掺杂用气体用于改变半导体的电学性质,离子注入气则用于将电荷注入到半导体中,而清洗用气则用于**表面杂质。这些特气的纯度和品质直接影响到集成电路的性能和可靠性。

在显示面板生产中,成膜工艺是关键环节之一,通过化学或物**相沉积、光刻和刻蚀等工艺过程实现。特气在这些过程中扮演着重要的角色,为成膜提供必要的原料或参与反应过程。特气应用及半导体Ppb露点仪QZ360介绍

在光伏电池生产中,特气主要用于扩散、薄膜沉积和刻蚀等环节。虽然所用气体种类相对较少,但其用量远远超过半导体行业中的用量。这些特气在太阳光与半导体材料的作用中起到关键作用,形成光伏效应。

然而,在这些超纯气应用中,气体中残余的湿气对过程处理的正常运作至关重要。一直以来,持续追踪测量湿气都是一个难点,需要使用复杂的湿度分析仪或昂贵的分析技术。但现在,ADEV仪表推出了一款简单、经济的方案——QZ360露点仪变送器,专门用来在线测量超高纯气体中的微量水分含量。

QZ360露点仪变送器基于ADEV仪表多年在石英震荡露点传感器生产和校验的专业经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。这款小巧的变送器拥有坚固而独立的传感器,专门用来测量超高纯气体中的微量水分含量。它不仅使用和安装简单,还具有各种可选型号和功能,以满足各种特殊需求。特气应用及半导体Ppb露点仪QZ360介绍

QZ360的测量下限达到惊人的-120°C露点(相当于不到1 ppbV),测量稳定性和重复性好。它采用高度集成的采样装置,提供模拟和数字输出,安装简便,并具有VCR过程接口和紧凑小巧的设计。此外,可选的显示单元可以轻松连接并作为QZ360的电源。

在许多高纯气体的应用中,如半导体行业,气体的残留水分对工艺操作的影响至关重要。根据以往的经验,微量水分测量一直是一个难题,但现在ADEV推出了一款简单、经济的产品,可以在线测量露点达-120°C(小于1ppb)。QZ360露点变送器的优势在于ADEV石英震荡传感器生产和校准的经验和专长。结合工业标准材料和制造工艺,这款低成本变送器适用于大规模集成半导体制造厂或高纯气体管线中。特气应用及半导体Ppb露点仪QZ360介绍

综上所述,特气在高科技领域的应用中发挥着重要作用,而QZ360露点仪变送器则为这些领域中的湿度测量提供了简单、经济的解决方案。随着特种气体需求的持续增长和技术水平的不断提高,相信这款仪器将在未来的特气应用中发挥更加重要的作用。特气应用及半导体Ppb露点仪QZ360介绍

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