电子气纯度及半导体Ppb微量水分析仪QZ360介绍
在半导体制造中，电子气体的纯度至关重要。它们是晶圆制造过程中占比**大的半导体耗材，被称为晶圆的“血液”。根据SEMI的数据，2020年全球晶圆制造材料中，电子气体占比约为13%，是占比仅次于硅片的半导体材料。电子特气则是其中特种气体的一种，它们是贯穿晶圆制造工艺流程的关键耗材，尤其在刻蚀和掺杂中使用占比很高。电子气纯度及半导体Ppb微量水分析仪QZ360介绍
然而，在许多超纯气应用中，气体中残余的湿气对过程处理的正常运作至关重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。但现在，ADEV仪表推出了QZ360露点仪变送器，这是一款简单、经济的方案，用来在线测量超高纯气体中的微量水分含量。
QZ360露点仪变送器基于ADEV仪表多年在石英震荡露点传感器生产和校验的专业经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出适用于半导体制造行业和超纯气体应用的低价位变送器。这款小巧的变送器拥有坚固而独立的传感器，专门用来测量超高纯气体中的微量水分含量。它不仅使用和安装简单，还具有各种可选型号和功能，以满足各种特殊需求。电子气纯度及半导体Ppb微量水分析仪QZ360介绍
QZ360的测量下限达到惊人的-120°C露点（相当于不到1 ppbV），测量稳定性和重复性好。它采用高度集成的采样装置，提供模拟和数字输出，安装简便，并具有VCR过程接口和紧凑小巧的设计。此外，可选的显示单元可以轻松连接并作为QZ360的电源。
在许多高纯气体的应用中，如半导体行业，气体的残留水分对工艺操作的影响至关重要。根据以往的经验，微量水分测量一直是一个难题，但现在ADEV推出了一款简单、经济的产品，可以在线测量露点达-120°C（小于1ppb）。QZ360露点变送器的优势在于ADEV石英震荡传感器生产和校准的经验和专长。结合工业标准材料和制造工艺，这款低成本变送器适用于大规模集成半导体制造厂或高纯气体管线中。
使用简单是QZ360的一大特点。这种独立的变送器设计成可无缝接入纯气的过程应用中，并可提供可靠的测量结果。QZ360的传感器外壳是由冷拉不锈钢制成，内部采用0.25Ra μm，以达到*小的吸湿性，洁净度达到清洁室标准。该变送器交付完整的校准和操作，并提供4-20mA的校准输出，能够连接到ADEV的显示模块或控制系统。电子气纯度及半导体Ppb微量水分析仪QZ360介绍
安装和操作简便也是QZ360的一大优点。其G1/2”外螺纹VCR气体接口的间距为120mm，符合标准。整个产品的高度仅为150mm，重量小于500g。QZ360是一个两线或三线制的变送器，提供*大的操作灵活性和12-28V直流电源的供电。
假如应用中需要显示露点值或湿度值，QZ360可以提供两种显示。显示器可以很容易连接，也可以作为QZ360的电源。此外，QZ360还具有测试范围宽、精度高、稳定性好、寿命长等优点。
总的来说，QZ360露点仪变送器为电子气体的纯度和湿气测量提供了一个高效、经济的解决方案，对于推动半导体制造技术的发展具有重要意义。
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