质量流量控制器(质量流量计)工作原理及ADEV便携式微量氧分析仪应用
质量流量控制器(MFC)和质量流量计(MFM)是测量和控制气体流量的重要设备。MFC由流量传感器、分流器通道、流量调节阀和放大控制电路等关键部件构成,而MFM则包括流量传感器、分离器通道和放大控制电路等部分。
当气体流经MFC或MFM时,部分气体会通过流量传感器。传感器基于毛细管传热温差量热法原理,无需额外的温度或压力补偿,直接测量气体的质量流量。传感器检测到的流量信号会被送入电桥,电桥随后将这一信号转换为电信号。这个电信号经过放大器放大到0~5V的范围。
放大后的流量检测电压与预设的设定电压进行比较,产生的差值信号再次被放大,用以控制调节阀门。这样形成了一个闭环控制系统,确保通过通道的流量与设定的流量保持一致。分流器在这个过程中起到了决定主通道流量的作用。质量流量控制器(质量流量计)工作原理及ADEV便携式微量氧分析仪应用
与MFC配套使用的MT系列流量显示仪则配备了稳压电源、3位半数字电压表、设定电位器、外设和内设转换开关以及三位阀控开关等功能。当MFC与流量显示仪连接后,它们的工作原理如图3所示,共同确保了对气体流量的**测量和控制。
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便携式微量氧分析仪的补充介绍
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总结质量流量控制器(质量流量计)工作原理及ADEV便携式微量氧分析仪应用
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