高纯氩选择的挑战:确保硅晶体生产的高品质及ADEV便携式微量氧分析仪应用
氩气,这一在工业领域广泛应用的稀有气体,以其高度的化学惰性著称,既不易燃烧也不支持燃烧。在**制造业如航空、航海、原子能及机械工程中,氩气常被用作焊接特殊金属(如铝、镁、铜及其合金和不锈钢)的保护气,有效防止焊接过程中空气引起的氧化和氮化现象。
特别是在半导体行业中,高纯度氩气扮演着至关重要的角色。它不仅用于焊接和不锈钢制造,还是化学气相沉积、晶体生长、热氧化、外延、扩散等关键工艺过程中不可或缺的介质。特别是在硅晶体的生产中,高纯氩作为保护气体,直接关系到单晶硅和多晶硅的质量。因此,如何正确选择高纯氩成为了提升硅晶体品质的一大难题。高纯氩选择的挑战:确保硅晶体生产的高品质及ADEV便携式微量氧分析仪应用
通过采用先进的净化设备,当氩气纯度达到并维持在小于1ppm,同时含水量也低于1ppm的极高标准时,所生产的单晶硅中的氧和碳含量能够显著降低至0.5ppm以下。这一成就不仅延长了单晶硅的使用寿命,还极大地满足了市场对高品质硅晶体的需求,赢得了客户的广泛赞誉。
然而,值得注意的是,普通液态氩在蒸发后往往未经过充分纯化,其含氧量可能高达2ppm至5ppm,甚至有时超出这一范围。而供应商提供的氩气质量参差不齐,若客户无法准确判断其纯度,便可能对*终产品的质量造成不利影响。
ADEV G9600 便携式微量氧分析仪在单晶硅多晶硅行业有很多应用,下面来看看这款产品.
ADEV G9600 便携式微量氧分析仪技术参数概览
核心亮点:
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**氧传感技术:融合前沿科技,实现零维护运行,保障长达24个月的稳定使用寿命。
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本质**设计:严格遵循**标准,确保在易燃易爆环境下也能安心使用。
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灵活量程调节:提供5档标准分析量程,支持自动与手动切换,轻松应对多样化测量需求。
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坚固耐用结构:采用不锈钢旁路取样系统与防水外壳,无惧恶劣环境,持久耐用。
详细技术参数:高纯氩选择的挑战:确保硅晶体生产的高品质及ADEV便携式微量氧分析仪应用
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测量原理:先进的燃料电池技术,确保测量结果的**与稳定。
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量程范围:广泛覆盖0~10/100/1000ppm及0~1%/25%FS,**满足各类应用场景需求。
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测量精度:<1%FS,高精度保证数据的可靠性。
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测量介质:支持惰性气体、氦气、氢气、混合气体及(CO2)酸性气体等多种类型。
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区域分类:Class 1,Division 1,Group A-D,符合国际**规范。
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校准推荐:建议采用80%FS含氧量的标准气进行校准,以确保测量精准。
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温度补偿:内置自动温度补偿功能,消除温度变化对测量结果的影响。
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气路连接:1/8"卡套接头,连接便捷,密封性能**。
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操作界面:防水按键设计,搭配菜单驱动系统,操作简便,功能齐全。
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显示屏幕:大屏幕液晶显示,分辨率0.01ppm,实时显示环境温度,信息清晰直观。
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外壳材质:镀铝NEMA 4X材质,防水防尘,有效保护内部组件。
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流量需求:建议流量2SCFH(范围1~5SCFH),确保测量稳定。
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LED指示灯:直观显示电池电量与充电状态,便于日常维护。
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线性度:>0.995,确保测量结果的良好线性关系。
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压力适应性:进气压力5~30psig,出气压力为大气压,适应广泛压力环境。
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电源供应:内置长效可充电电池,充电周期长达60天(带泵工作时为1天)。
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快速响应:恢复时间仅需60秒至10ppm以下,响应时间仅10秒,提升工作效率。
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取样系统:集成流量控制、取样/旁路切换及流量计,实现**取样与流量管理。
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高灵敏度:<0.5%FS,精准捕捉微量氧气变化。
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信号输出:提供RS485信号,便于与各种外部设备连接和数据传输。
可选配件:高纯氩选择的挑战:确保硅晶体生产的高品质及ADEV便携式微量氧分析仪应用
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酸性传感器:针对CO2含量超过0.5%的特定环境,提升测量精准度。
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整体式取样泵:简化取样流程,适用于多种应用场景及本安设计要求。
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手提式便携箱:便于携带与仪器保护,适合户外作业或移动测量。
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其他取样调节配件:根据个性化需求灵活配置,满足多样化测量要求。
应用领域:
广泛应用于石油化工、煤化工、泄漏检测、气态单体过程分析、气体纯度分析、气态纯碳氢物流监测、半导体生产、惰性气体焊接保护及热处理等领域。
为解决这一问题,氩气净化装置显得尤为重要。无论原料氩气的初始质量如何,经过净化装置处理后,进入晶体生长炉的氩气均能保持稳定的高纯度状态,一般可达氧气含量小于0.2ppm,水分小于1ppm。这种高度纯净且稳定的氩气供应,为硅晶体的生产提供了坚实的保障,确保了晶体品质的稳步提升。
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