三氟化氮气体中微量HF含量用ADEV氟化氢测试仪
三氟化氮气体信息概览
基本信息
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中文名：三氟化氮
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外文名：Nitrogen trifluoride
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CAS号：7783-54-2
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分子式：F₃N（或NF₃，根据表示习惯）
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分子量：71.0019
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中文别名：氟化氮
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英文别名：232-007-1; trifluoroamine
物性数据
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性状：无色、带有霉味的气体。三氟化氮气体中微量HF含量用ADEV氟化氢测试仪
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熔点（ºC）：-208.5
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沸点（ºC）：-129
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相对密度（水=1）：1.89（沸点，液体）
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相对蒸气密度（空气=1）：2.45
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临界温度（ºC）：-39.3
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临界压力（MPa）：4.53
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溶解性：不溶于水。
存储方法
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包装材料：70℃以下，NF₃气体对普通金属不腐蚀，可使用钢、铜、镍、铝和不锈钢作为包装材料。气瓶需每两年检验一次。
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运输规定：按有毒高压液化气体规定运输，汽车、火车可运，飞机禁运。气瓶充装系数不大于0.01。
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储存条件：储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房，远离火种、热源。库温不超过30℃。与易（可）燃物、还原剂、食用化学品分开存放。储区应备有泄漏应急处理设备。
合成方法
在熔融氟铵酸存在下，通过氨直接氟化工艺合成，反应产物经过除杂和低温收集得到纯净的NF₃。
主要用途三氟化氮气体中微量HF含量用ADEV氟化氢测试仪
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微电子工业：作为优良的等离子蚀刻气体，与CF₄+O₂混合气体对硅和氮化硅的蚀刻具有更高的速率和选择性，且对表面无污染。同时，NF₃与氢反应释放大量热量，是高能化学激光器的重要应用原理。
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高能燃料：NF₃在高温下与有机化合物反应常伴有爆炸性，但也被视为一种潜在的高能燃料。
请注意，操作三氟化氮时需严格遵守**规范，以防意外发生。
在三氟化氮气体中如果有PPM级的氟化氢气体用什么来测量呢?
今天我们来看ADEV这款激光氟化氢气体分析仪的原理测量技术参数等:
AtLAS 激光气体分析仪基于可调谐激光吸收光谱技术（TDLAS）原理进行测量，获取待测气体特征吸收的光谱谱线。半导体激光器发射出特定波长的激光束（仅能被被测气体吸收），穿过被测气体时，激光强度的衰减与被测气体的浓度成一定的凼数关系，从而进行的定量分析。
AtLAS 激光气体分析仪采用 19 英寸标准机箱，将微控制器与数字化处理技术相结合，具有完整的自我诊断功能。
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技术指标：
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ADEV激光HF气体测试仪
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测量范围
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0～10/100/1000/10000ppm，0-100%
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线性误差
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±2%FS
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重复性
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±1%FS
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稳定性
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±1%FS/半年
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响应时间
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T90 小于 10s
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校准周期
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1 年（建议）
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显示器
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7 寸彩色触摸屏
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气路接口
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G1/4＂-Φ6 快拧接头（可以定制）
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接线方式
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接线端子
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传感器寿命
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大于 2 年（正常使用）
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仪器寿命
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大于 5 年（正常使用）
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供电电源
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85～264VAC，50/60Hz
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三氟化氮气体中微量HF含量用ADEV氟化氢测试仪
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仪器功耗
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＜20VA
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环境温度
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-10～+50℃
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环境湿度
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小于 90%RH
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进气压力
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常压±10%（出气口应为大气压）
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进气流量
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1～3L/min
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通讯
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RS485（标配）/RS232（选配）
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Modbus RTU 协议
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数量：1 组
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模拟信号
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输出模式：4-20mA/ 0-20mA，支持软
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件切换
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负载：小于 500Ω
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开关量信号
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报警点：1 个
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继电器触点容量：24VDC，0.2A
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线性误差仅适用于通讯输出，模拟信号可能因信号采集出现额外的误差。
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