六氟丁二烯气体环保高效的半导体制造特种气体微量氟化氢该如何检测
六氟丁二烯作为一种在半导体制造领域备受青睐的特种气体，尤其在干法蚀刻工艺中展现出了**的性能。其高刻蚀速率、均匀的蚀刻效果以及出色的刻蚀选择比，使其成为该工艺中的佼佼者。此外，与其他氟化物相比，六氟丁二烯的全球变暖潜能值（GWP）极低，几乎可以忽略不计，这使其在环保方面具有显著优势。在半导体制造的多个关键环节，如晶圆刻蚀、金属蚀刻以及氧化物蚀刻等，六氟丁二烯均得到了广泛应用，展现了其作为环保高效特种气体的独特价值。
测量六氟丁二烯气体的微量氟化氢气体该如何测量呢?这里我们给大家介绍一款ADEV激光HF气体分析仪.
AtLAS 激光气体分析仪六氟丁二烯气体环保高效的半导体制造特种气体微量氟化氢该如何检测
AtLAS 激光气体分析仪基于可调谐激光吸收光谱技术（TDLAS）原理进行测量，获取待测气体特征吸收的光谱谱线。半导体激光器发射出特定波长的激光束（仅能被被测气体吸收），穿过被测气体时，激光强度的衰减与被测气体的浓度成一定的凼数关系，从而进行的定量分析。
AtLAS 激光气体分析仪采用 19 英寸标准机箱，将微控制器与数字化处理技术相结合，具有完整的自我诊断功能。
技术原理：六氟丁二烯气体环保高效的半导体制造特种气体微量氟化氢该如何检测
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利用电流和温度**调制激光器（可调谐）波长， 可以扫描被测气体的特
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产品特点：
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定吸收峰｛无背景气体吸收）， 得到该气体吸收的二次谐波，利用二次谐波及该
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可靠性和稳定性好；
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气体的展宽信息，可计算出该气体的浓度。
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采用“单线光谱”技术，测量不受背景气体交叉干扰；
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TDLAS 技术通过激光波长扫描技术修正了粉尘和视窗污染对测量的
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影响；
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完善的自诊断功能；
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视窗表面覆盖一块钢化玱璃，增强触摸屏的撞击保护；
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采用 7 寸彩色触摸屏，显示直观，操作方便。
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应用领域：
化工、焦化、制药、冶金、环保、食品等发酵过程监测，生物反应器，堆肥处理，自动惰封系统，离心机，沼气/填埋气体中CH4 浓度监测。
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技术指标：
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测量范围
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0～10/100/1000/10000ppm，0-100%
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线性误差
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±2%FS
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六氟丁二烯气体环保高效的半导体制造特种气体微量氟化氢该如何检测
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重复性
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±1%FS
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稳定性
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±1%FS/半年
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响应时间
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T90 小于 10s
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校准周期
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1 年（建议）
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显示器
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7 寸彩色触摸屏
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气路接口
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G1/4＂-Φ6 快拧接头（可以定制）
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接线方式
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接线端子
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传感器寿命
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大于 2 年（正常使用）
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仪器寿命
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大于 5 年（正常使用）
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供电电源
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85～264VAC，50/60Hz
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仪器功耗
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＜20VA
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环境温度
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-10～+50℃
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环境湿度
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小于 90%RH
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进气压力
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常压±10%（出气口应为大气压）
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进气流量
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1～3L/min
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通讯
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RS485（标配）/RS232（选配）
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Modbus RTU 协议
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数量：1 组
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模拟信号
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输出模式：4-20mA/ 0-20mA，支持软
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件切换
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负载：小于 500Ω
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开关量信号
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报警点：1 个
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继电器触点容量：24VDC，0.2A
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