ADEV Ult-08 激光乙炔分析仪实现半导体高纯特气全流程 ppb 监测落地|埃登威自动化系统设备（上海）有限公司

ADEV Ult-08 激光乙炔分析仪实现半导体高纯特气全流程 ppb 监测落地

伴随半导体提速，电子特气纯度管控标准持续升级，高纯氮、氩等工艺保护气中乙炔杂质需稳定控制在数十 ppb 区间，ADEV Ult-08 系列 TDLAS 激光气体分析仪凭借超低检出、强抗干扰优势，批量落地特气生产、晶圆制造两大应用场景。

该设备采用可调谐半导体激光吸收光谱 + 长光程光路，乙炔*低检出限 5ppb，精准匹配行业 ppb 管控需求；光谱选择性优异，不受水汽、甲烷等共存气体干扰，光学非消耗式检测，整机使用寿命≥5 年、月零点漂移＜±0.2% FS，大幅降低现场运维频次。设备 T90＜3min 快速响应，两路继电器 + 4~20mA/RS485 多规格信号输出，可无缝对接工厂 DCS/MES 系统，超标自动联锁切断气源。ADEV Ult-08 激光乙炔分析仪实现半导体高纯特气全流程 ppb 监测落地

硬件采用 6U 标准机架结构，适配洁净车间控制柜安装，10 寸工业触控屏自带运行数据存储，满足半导体 GMP 生产台账、SEMI 审厂数据溯源要求；VCR 精密气路接口可配套小型预处理，适配洁净特气管路安装规范，量程支持按需定制。

目前产品已在国内多家电子特气充装企业、SiC 晶圆、功率半导体工厂落地，覆盖气瓶出厂质检、厂区总管在线监测、车间工艺支管三道关键监测点位，替代传统离线色谱抽检模式，有效管控微量乙炔带来的良品损耗与**隐患，助力国产半导体产业链品质升级。

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