日本Horiba STEC SEC-E50气体质量流量控制器
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产品名称:
日本Horiba STEC SEC-E50气体质量流量控制器
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日本Horiba气体质量流量控制器库存
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简单介绍
日本Horiba STEC SEC-E50气体质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等日本Horiba气体质量流量控制器库存。
日本Horiba STEC SEC-E50气体质量流量控制器 的详细介绍
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日本Horiba STEC
SEC-E50气体质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
日本Horiba STEC SEC-E50气体质量流量控制器产品简介日本Horiba气体质量流量控制器库存：
所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在须对流量进行准确计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
我们会努力按照原厂技术参数翻译编辑，如技术参数中英文有差异，以英文参数为准。 日本Horiba气体质量流量控制器库存
日本Horiba STEC SEC-E50气体质量流量控制器技术参数：
型号SEC-(质量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF-(质量流量计)E40E50
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适用气体种类*1
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非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
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气体接触部材质
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SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢日本Horiba气体质量流量控制器库存
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阀门型号
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非通电时 关闭
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标准流量量程 (N2相应F.S.)
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10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
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20/30 SLM
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流量控制范围
(适于SEC系列)
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2?100% F.S.
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流量测量范围
(适于SEF系列)
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0?100% F.S.
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响应速度
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1秒以内(T98)
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流量精度
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±1% F.S.
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直线性
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±0.5% F.S.日本Horiba气体质量流量控制器库存
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反复性
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±0.2% F.S.
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工作差压值值
(适于SEC系列)
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10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
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使用压力
(适于SEF系列)
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300kPa(G)以下
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耐 压
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1MPa(G)以下
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外部泄漏率
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1×10-8Pa?m3/s(He)以下
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使用环境温度
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5?50℃(精度的确保：15?35℃)
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流量设定信号
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0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
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流量输出信号
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0?5VDC(很小负荷电阻2kΩ)
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驱动电源
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+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
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＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
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标准接头*2
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1/4SWL 类型
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日本Horiba STEC SEC-E50气体质量流量控制器日本Horiba气体质量流量控制器库存
