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X轴(驱动部)
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测量范围
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50mm
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分辨率
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0.05μm
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长度基准
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线性编码器
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驱动速度
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0-20mm/s
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测量速度
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0.02-5mm/s
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移动方向
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向后
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直线度
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0.2μm/50mm
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定位
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±1.5°（倾角，有DAT功能），30mm（向上/向下）
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检测器
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范围/分辨率
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800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm
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检测方法
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无轨/有轨测量
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测力
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4mN或0.75mN
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测针针尖
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金刚石,90º/5μmR(60º/2μmR)
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导头曲率半径
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40mm
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导头压力
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小于400mN
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类型
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差动电感式
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尺寸(WxDxH)
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425x94x160mm
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重量
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主机2.7kg
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连接装置3.8kg
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评估能力
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适用标准
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JIS\'82,JIS\'94,JIS\'01,ISO,ANSI,VDA
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评估轮廓
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P(原始轮廓),R(表面粗糙度曲线),DIN4776,粗糙度曲线motif
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评价参数
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Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Rv,Sm,S,Pc,R3z,mr(c),Rpk,Rvk,δc,Rk,Mr1,Mr2
Lo,Ppi,R,AR,Rx,A1,A2,Vo,HSC,mr,SK,Ku,Δa,Δq,Wte,Wx,W,AW(可定制)
Rz1max(ISO),Rmax(VDA,ANSI)
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分析图表
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ADC、BAC、功率谱图
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评价曲线
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断面曲线、粗糙度曲线、DF曲线、波纹曲线表面粗糙度MOTIF、波形MOTIF曲线
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解析图表
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负荷曲线、振幅分布曲线
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曲线补偿
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抛物线、双曲线、圆锥、圆、二次曲线、倾斜补偿、无补偿
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滤波类型
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2CR,PC75,高斯
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截止波长
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lc0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm
ls0.25,0.8,2.5,8,25,80,250μm无滤波器
lf0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm无滤波器
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取样长度
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0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm;
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数据补偿功能
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倾斜补偿、R平面（曲面）补偿、椭圆补偿、抛物线补偿、双曲线补偿、二次曲线自动补偿、多项式补偿、多项式自动补偿
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