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日本shibaura电机直联式油旋转真空泵

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产品名称: 日本shibaura电机直联式油旋转真空泵
产品型号: shibaura真空泵总代理是哪家
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

日本shibaura电机直联式油旋转真空泵
DRP系列的特点
两段式，极限压力低
采用电机直接连接方式，结构紧凑，轻便，粉尘少，可以保持清洁的环境。
低振动和低噪音
维修方便
强大的气镇阀（蒸汽处理阀）可抵抗蒸汽和可冷凝气体的排放


日本shibaura电机直联式油旋转真空泵  的详细介绍

日本shibaura电机直联式油旋转真空泵

 

日本shibaura电机直联式油旋转真空泵使用例

  • 溅射设备
  • 气相沉积设备
  • 各种等离子设备
  • 真空炉
  • 各种真空测试设备

日本shibaura电机直联式油旋转真空泵DRP系列阵容

模型 单元 DRP-180YⅡ DRP-360YⅡ DRP-360Ⅲ
施工 包括转子叶片式两级
气镇阀
设计抽速 50 Hz，L /分钟 150 300 300
60 Hz，L /分钟 180 360 360
极限压力 帕 2.7×10 -2（* 2） 2.7×10 -2（* 2） 6.7×10 -2（* 2）
所需马达 ACV，相，kW 200、3、0.4（* 3） 200、3、0.75（* 3）（* 4） 200、3、0.73（* 3）（* 5）
录取   NW25（* 6） NW25（* 6） NW25（* 6）
排气口   PS1 PS1 PS1
用油   TSR-1200 TSR-1200 TSR-1200
油量 大号 0.8 1.2 1.5
尺寸（* 1） 宽x深x高（毫米） 261 x 494.5 x 209 261 x 572 x 172 260 x 503 x 176
质量（* 1） 公斤 27 38 34
水处理量 升/小时 0.2 0.4 0.4
噪声 50 Hz，分贝（A） 60 61 58
60 Hz，分贝（A） 63 64 61
振动   振幅0.05mm以下
冷却方式   强制冷却（风冷）
         
模型 单元 DRP-800 DRP-1500  
日本shibaura电机直联式油旋转真空泵施工 包括转子叶片式两级
气镇阀 		 
设计抽速 50 Hz，L /分钟 700 1,250  
60 Hz，L /分钟 840 1,500  
极限压力 帕 6.7×10 -2（* 2） 6.7×10 -2（* 2）  
所需马达 ACV，相，kW 200、3、1.5（* 3）（* 4） 200、3、2.2（* 3）（* 4）  
录取   VG50 VG50  
排气口   PS1 1/2 PS2  
用油   TSR-1200 TSR-1200  
油量 大号 2.3 3.5  
尺寸（* 1） 宽x深x高（毫米） 441 x 608 x 237 496 x 721.5 x 253  
质量（* 1） 公斤 67 96.5  
水处理量 升/小时 0.8 1.5  
噪声 50Hz，分贝（A） 63 73  
60Hz，分贝（A） 67 76  
振动   振幅0.05mm以下  
冷却方式   强制冷却（风冷）  

* 1表示包括底座，电机等在内的设定值。
* 2用MacLeod真空计测量
* 3全
封闭式风扇电机* 4 IE3规格
* 5 CE规格（相当于IE1）
* 6可选

  • [DRP-180YII]真空保持型

    [DRP-180YII]真空保持型

    外型尺寸

  • [DRP-360YII]真空保持型

    [DRP-360YII]真空保持型

    电机符合相关法规（IE3）

    外型尺寸

  • [DRP-360Ⅲ]自动泄漏型

    [DRP-360Ⅲ]自动泄漏型

    CE规格电机（IE1）

    外型尺寸

  • [DRP-800]

    [DRP-800]

    电机符合**法规（IE3）

    外型尺寸

  • [DRP-1500]

    [DRP-1500]

    电机符合相关法规（IE3）

    外型尺寸

*规格和建议零售价如有变更，恕不另行通知。

预防措施

  • 我们的油旋转真空泵是根据以下用途设计和制造的。
    （1）吸入气体的种类空气和惰性气体（N 2，CO 2，He，Ne，Ar，Xe，Rn ･ ･ ･）
    （2）吸入气体的温度5-40 ℃ 
    （3）环境温度5〜 40°C 
    （4）常压泵压约1.3×10 2 Pa以下
    （5）其他真空和大气重复的频率低。切勿吸入水等液体。
      *如果条件与上述条件不同，请与我们联系。

  • 请注意，如果将标准规格的真空泵用于以下目的，将会缩短其使用寿命。
    （1）腐蚀性气体（Cl 2，CCl 4，CF 4，BBr 3，HBr···）
      [示例] 
        即使在特殊规格的真空泵中，也进行离子注入，蚀刻，CVD等操作，易燃，易挥发请勿吸入该物质。
    （2）排放大量水蒸气，化学物质，溶剂，粉末等。
    （3）工作压力为1.3 kPa以上时。
    （4）真空和大气的频率高时。
    （5）请勿吸入氨气。

 日本shibaura电机直联式油旋转真空泵

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