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SINFONIA昕芙旎雅 基板自动搬送装置 EFEM面向LED/功率半导体

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产品名称: SINFONIA昕芙旎雅 基板自动搬送装置 EFEM面向LED/功率半导体
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简单介绍

SINFONIA(昕芙旎雅株式会社)成立于1917年,以电磁控制技术为核心,提供半导体搬送装置、宇宙火箭电气部件、汽车实验装置测试系统、振动输送设备、小型马达、电磁离合器/制动器、打印机系统等各领域产品。基于其自己独特的传动控制和能源控制技术,在各种领域提供相对应的产品。今天,SINFONIA在各个领域孕育的技术沿用至"再生医学","物流"和"农业


SINFONIA昕芙旎雅 基板自动搬送装置 EFEM面向LED/功率半导体  的详细介绍

SINFONIA(昕芙旎雅株式会社)成立于1917年,以电磁控制技术为核心,提供半导体搬送装置、宇宙火箭电气部件、汽车实验装置测试系统、振动输送设备、小型马达、电磁离合器/制动器、打印机系统等各领域产品。基于其自己独特的传动控制和能源控制技术,在各种领域提供相对应的产品。


今天,SINFONIA在各个领域孕育的技术沿用至"再生医学","物流"和"农业"领域产品的开发,进一步为可持续发展社会做出贡献。


SINFONIA日本昕芙旎雅株式会社 SHINKO神钢

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300mm/200mm搭载自动切换功能的 Load Port

SELOP08C12F-S81 Series

200mm wafer operation

300mm wafer operation


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自动搬送装置(EFEM)

面向LED/功率半导体

新型搬送设备登场!

适用于LED/功率半导体基板大型化需求

适用于6/8英寸基板


300mm EFEM

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微环境设备

支持更先进、更高效的半导体工艺


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM

控制EFEM内Ox/H2O,适应***生产工艺需求


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

支持进一步微细化的次时代机型!

300mm FOUP Load Port

(Smart SELOP-8系列)


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

为次时代品质提升(12nm, 7/8nm)做出贡献

氮气吹净300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7-N系列


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300/200mm自动切换功能 Load Port

Smart SELOP-7 新系列

*适合300mm与200mm晶圆混合生产线

300mm晶圆对应LP仅需装载开放式晶圆盒适配器便可适用于200mm晶圆对应LP!


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

为后段工序的自动化提供支持

切割架 Load Port

Tape Frame FOUP Load Port

满足无颗粒、反复操作下的高耐久性等半导体制造设备所需的规格。


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7(SELOP12F25-S7系列)

高可靠性、销量No.1!

采用大型指示器,一台即搞定所有Fab.


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

支持高效率、稳定的晶元移位

分拣机



半导体设备

基板自动搬送装置(EFEM)
面向LED/功率半导体

新型搬送设备登场!

适用于LED/功率半导体基板大型化需求

特长

图片关键词

图片关键词适用于6/8英寸基板

图片关键词通过晶圆盒~制程处理室间的基板设置&基板输送的自动化处理,实现人力的节省

图片关键词凭借高洁净度、氮气环境内(基于氮气循环)的处理,达到高成品率(降低异物、水分、酶等成分的污染)

图片关键词制程处理后的高温基板也能加工处理,进而实现高生产性

图片关键词图片关键词

既往方法

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基板自动搬送装置(EFEM)

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