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苏州供应SINFONIA昕芙旎雅株式会社 半导体搬运设备300mm N2 EFEM

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产品名称: 苏州供应SINFONIA昕芙旎雅株式会社 半导体搬运设备300mm N2 EFEM
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简单介绍

SINFONIA（昕芙旎雅株式会社）成立于1917年，以电磁控制技术为核心，提供半导体搬送装置、宇宙火箭电气部件、汽车实验装置测试系统、振动输送设备、小型马达、电磁离合器/制动器、打印机系统等各领域产品。基于其自己独特的传动控制和能源控制技术，在各种领域提供相对应的产品。今天，SINFONIA在各个领域孕育的技术沿用至"再生医学","物流"和"农业


苏州供应SINFONIA昕芙旎雅株式会社 半导体搬运设备300mm N2 EFEM  的详细介绍

SINFONIA（昕芙旎雅株式会社）成立于1917年，以电磁控制技术为核心，提供半导体搬送装置、宇宙火箭电气部件、汽车实验装置测试系统、振动输送设备、小型马达、电磁离合器/制动器、打印机系统等各领域产品。基于其自己独特的传动控制和能源控制技术，在各种领域提供相对应的产品。


今天，SINFONIA在各个领域孕育的技术沿用至"再生医学","物流"和"农业"领域产品的开发，进一步为可持续发展社会做出贡献。


SINFONIA日本昕芙旎雅株式会社 SHINKO神钢

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300mm/200mm搭载自动切换功能的 Load Port

SELOP08C12F-S81 Series

200mm wafer operation

300mm wafer operation


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自动搬送装置（EFEM）

面向LED/功率半导体

新型搬送设备登场！

适用于LED/功率半导体基板大型化需求

适用于6/8英寸基板


300mm EFEM

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微环境设备

支持更先进、更高效的半导体工艺


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM

控制EFEM内Ox/H2O，适应***生产工艺需求


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

支持进一步微细化的次时代机型！

300mm FOUP Load Port

（Smart SELOP－8系列）


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

为次时代品质提升（12nm, 7/8nm）做出贡献

氮气吹净300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7-N系列


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300/200mm自动切换功能 Load Port

Smart SELOP-7 新系列

*适合300mm与200mm晶圆混合生产线

300mm晶圆对应LP仅需装载开放式晶圆盒适配器便可适用于200mm晶圆对应LP！


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

为后段工序的自动化提供支持

切割架 Load Port

Tape Frame FOUP Load Port

满足无颗粒、反复操作下的高耐久性等半导体制造设备所需的规格。


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7（SELOP12F25-S7系列）

高可靠性、销量No.1！

采用大型指示器，一台即搞定所有Fab.


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

支持高效率、稳定的晶元移位

分拣机


半导体设备

NEW

300mm N2 EFEM

控制EFEM内Ox/H2O，适应***生产工艺需求

特长

1.实现从空气到氮气的高效转换

实现微环境内高效维持低氧气浓度
采用通过100LPM以下氮气消耗量维持氧气浓度低于100ppm的氮气循环系统

2.自动控制微差压

10Pa微差压计+/- 3.5

3.可安装于与传统型号EFEM相同的位置

  • (1)与传统型EFEM空间占用相同，可直接更换现有标准EFEM

  • (2)可通过固定型机械臂实现*大4LP

  • (3)与传统型EFEM相同，侧面设有维护窗（可通过追加选购，定制使用侧面位置）

4.EFEM内部环境·分析监视器

可使用数字分析器进行监测

4.**操作

**地使用氮气进行空气交换
※按照S2、S8、CE标准进行

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