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SINFONIA昕芙旎雅 Load Port为半导体后段工序的自动化提供支持切割架

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产品名称: SINFONIA昕芙旎雅 Load Port为半导体后段工序的自动化提供支持切割架
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简单介绍

SINFONIA（昕芙旎雅株式会社）成立于1917年，以电磁控制技术为核心，提供半导体搬送装置、宇宙火箭电气部件、汽车实验装置测试系统、振动输送设备、小型马达、电磁离合器/制动器、打印机系统等各领域产品。基于其自己独特的传动控制和能源控制技术，在各种领域提供相对应的产品。今天，SINFONIA在各个领域孕育的技术沿用至"再生医学","物流"和"农业


SINFONIA昕芙旎雅 Load Port为半导体后段工序的自动化提供支持切割架  的详细介绍

SINFONIA（昕芙旎雅株式会社）成立于1917年，以电磁控制技术为核心，提供半导体搬送装置、宇宙火箭电气部件、汽车实验装置测试系统、振动输送设备、小型马达、电磁离合器/制动器、打印机系统等各领域产品。基于其自己独特的传动控制和能源控制技术，在各种领域提供相对应的产品。


今天，SINFONIA在各个领域孕育的技术沿用至"再生医学","物流"和"农业"领域产品的开发，进一步为可持续发展社会做出贡献。


SINFONIA日本昕芙旎雅株式会社 SHINKO神钢

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300mm/200mm搭载自动切换功能的 Load Port

SELOP08C12F-S81 Series

200mm wafer operation

300mm wafer operation


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自动搬送装置（EFEM）

面向LED/功率半导体

新型搬送设备登场！

适用于LED/功率半导体基板大型化需求

适用于6/8英寸基板


300mm EFEM

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微环境设备

支持更先进、更高效的半导体工艺


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM

控制EFEM内Ox/H2O，适应***生产工艺需求


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

支持进一步微细化的次时代机型！

300mm FOUP Load Port

（Smart SELOP－8系列）


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

为次时代品质提升（12nm, 7/8nm）做出贡献

氮气吹净300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7-N系列


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300/200mm自动切换功能 Load Port

Smart SELOP-7 新系列

*适合300mm与200mm晶圆混合生产线

300mm晶圆对应LP仅需装载开放式晶圆盒适配器便可适用于200mm晶圆对应LP！


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

为后段工序的自动化提供支持

切割架 Load Port

Tape Frame FOUP Load Port

满足无颗粒、反复操作下的高耐久性等半导体制造设备所需的规格。


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7（SELOP12F25-S7系列）

高可靠性、销量No.1！

采用大型指示器，一台即搞定所有Fab.


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

支持高效率、稳定的晶元移位

分拣机


半导体设备

NEW

为后段工序的自动化提供支持

切割架 Load Port
Tape Frame FOUP Load Port

满足无颗粒、反复操作下的高耐久性等半导体制造设备所需的规格。

特长

切割架载入口
图片关键词

图片关键词高可靠性及丰富的业绩

300mmLoad Port运行在全世界的前道生产线

图片关键词无颗粒(particle free)

(1) 采用独特的粒子夹带技术
(2) 采用低震动技术

图片关键词符合SEMI标准(E184)

图片关键词可搭载CID

※选项

图片关键词搭载适配器可支持Open Cassette

※选项

图片关键词支持氮气吹扫

※选项

图片关键词面向台湾地区·韩国、对应SEMI E63标准等各种规格的Tape Frame FOUP亦可对应

※详细情况请咨询

适用载体

  • 380mm带环晶圆框架 13,25格收纳


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