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日本SINFONIA昕芙旎雅 半导体无尘搬运设备SELOP-8系列

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产品名称: 日本SINFONIA昕芙旎雅 半导体无尘搬运设备SELOP-8系列
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简单介绍

SINFONIA(昕芙旎雅株式会社)成立于1917年,以电磁控制技术为核心,提供半导体搬送装置、宇宙火箭电气部件、汽车实验装置测试系统、振动输送设备、小型马达、电磁离合器/制动器、打印机系统等各领域产品。基于其自己独特的传动控制和能源控制技术,在各种领域提供相对应的产品。今天,SINFONIA在各个领域孕育的技术沿用至"再生医学","物流"和"农业


日本SINFONIA昕芙旎雅 半导体无尘搬运设备SELOP-8系列  的详细介绍

SINFONIA(昕芙旎雅株式会社)成立于1917年,以电磁控制技术为核心,提供半导体搬送装置、宇宙火箭电气部件、汽车实验装置测试系统、振动输送设备、小型马达、电磁离合器/制动器、打印机系统等各领域产品。基于其自己独特的传动控制和能源控制技术,在各种领域提供相对应的产品。


今天,SINFONIA在各个领域孕育的技术沿用至"再生医学","物流"和"农业"领域产品的开发,进一步为可持续发展社会做出贡献。


SINFONIA日本昕芙旎雅株式会社 SHINKO神钢

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300mm/200mm搭载自动切换功能的 Load Port

SELOP08C12F-S81 Series

200mm wafer operation

300mm wafer operation


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自动搬送装置(EFEM)

面向LED/功率半导体

新型搬送设备登场!

适用于LED/功率半导体基板大型化需求

适用于6/8英寸基板


300mm EFEM

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微环境设备

支持更先进、更高效的半导体工艺


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM

控制EFEM内Ox/H2O,适应***生产工艺需求


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

支持进一步微细化的次时代机型!

300mm FOUP Load Port

(Smart SELOP-8系列)


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

为次时代品质提升(12nm, 7/8nm)做出贡献

氮气吹净300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7-N系列


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300/200mm自动切换功能 Load Port

Smart SELOP-7 新系列

*适合300mm与200mm晶圆混合生产线

300mm晶圆对应LP仅需装载开放式晶圆盒适配器便可适用于200mm晶圆对应LP!


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

为后段工序的自动化提供支持

切割架 Load Port

Tape Frame FOUP Load Port

满足无颗粒、反复操作下的高耐久性等半导体制造设备所需的规格。


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7(SELOP12F25-S7系列)

高可靠性、销量No.1!

采用大型指示器,一台即搞定所有Fab.


SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半导体设备

支持高效率、稳定的晶元移位

分拣机

半导体设备

支持进一步微细化的次时代机型!

300mm FOUP Load Port
(Smart SELOP-8系列)

采用独立结构,实现FOUP门开关更加流畅 

气动/电动混合驱动结构抑制开关门产生的振动,大幅降低颗粒的影响。拥有*新的高气密性FOUP。

特长

  • 控制喷嘴升降时机

  • 避免和运动销载入位置的干扰

  • 亦可与氮气吹净不匹配的FOUP混用

  • 调节喷嘴结合强度功能

  • 可更换喷嘴头

  • 喷嘴升降位置确认(传感器)

1.载体基座上的FOUP氮气吹净

  • FOUP适用实绩:ENTEGRIS公司A-300及Spectra
    (适用4吹净口型号) ※

2.纯净氮气供给

  • (1)过滤器紧接吹净口,防止颗粒侵入FOUP

  • (2)向位于FOUP注入口的规格金属孔眼压焊喷嘴

3.可通过流量计监测氮气气体的流量

4.可通过MFC控制氮气气体的流量

4.可通过现场改装将标准版SELOP-8氮气吹净工艺升级

图片关键词

※载体基座上的FOUP氮气吹净

300mm FOUP 载入口


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