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日本PISCO碧铄科迷你型弹簧式真空进气口,内置倒钩接头VPMC4-2RMF-4B

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产品名称: 日本PISCO碧铄科迷你型弹簧式真空进气口,内置倒钩接头VPMC4-2RMF-4B
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简单介绍

日本PISCO碧铄科迷你型弹簧式真空进气口,内置倒钩接头VPMC4-2RMF-4B特長半導体製造設備に*適な小型タイプ。半導体製造設備に*適な小型タイプ。豊富なパッドサイズ、パッド材質、ホルダ形状のバリエーション。パッドサイズ:6種。パッド材質:10種。ホルダ形状:6種。スプリング式ホルダのストロークが選択可能。スプリング式ホルダに低発塵タイプを用意。従来のスプリング式ホルダに比べ低発塵。騒音レベ


日本PISCO碧铄科迷你型弹簧式真空进气口,内置倒钩接头VPMC4-2RMF-4B  的详细介绍

日本PISCO碧铄科迷你型弹簧式真空进气口,内置倒钩接头VPMC4-2RMF-4B

特長

半導体製造設備に*適な小型タイプ。

半導体製造設備に*適な小型タイプ。

豊富なパッドサイズ、パッド材質、ホルダ形状のバリエーション。

パッドサイズ:6種。
パッド材質:10種。
ホルダ形状:6種。

スプリング式ホルダのストロークが選択可能。

スプリング式ホルダに低発塵タイプを用意。

従来のスプリング式ホルダに比べ低発塵。
騒音レベル:45dBで低騒音を実現。
接続可能なパッドサイズ:φ0.7~φ4mm
ストローク:2、5、10、15、20mmを用意。

「流路に銅を主成分とする金属材料不使用」・「低濃度オゾン対策」向けの分野に対応するパッドホルダも用意。

-S3仕様:流路に銅を主成分とする金属材料不使用,シールゴム材質にはHNBRまたはFKMを採用。

仕様

パッド材質

材質ニトリルゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム、導電性シリコーンゴム、導電性ブタジエンゴム(低抵抗タイプ)、導電性NBR(低抵抗タイプ)、食品衛生法適合NBR、HNBR、EPDM

ホルダ種類

固定式真空取出口 上VPMA(ミニ)
固定式真空取出口 横VPMB(ミニ)
固定式直付型VPME(ミニ)
スプリング式真空取出口 上VPMC(ミニ)/VPLFC(低発塵)
スプリング式真空取出口 横VPMD(ミニ)

適用サイズ

パッドサイズ(mm)

パッドサイズφ0.7, φ1, φ1.5, φ2, φ3, φ4

真空取出口チューブサイズ

ワンタッチ継手(mm)1.8, 2, 3, 4, 6
バーブ継手(mm)3x2, 4x2.5, 6x4

※)ホルダ形状により、選択できる接続サイズが異なります。

真空取出口ネジサイズ

メネジM3x0.5, M5x0.8
オネジM3x0.5, M5x0.8

※)ホルダ形状により、選択できる接続サイズが異なります。

理論吸着力グラフ

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構造図

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