美国Filmetrics优尼康-P-170 台阶仪
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
美国Filmetrics优尼康-P-170 台阶仪
产品型号:
产品展商:
其它品牌
产品文档:
无相关文档
简单介绍
美国Filmetrics优尼康-P-170 台阶仪P-170 台阶仪P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪,将P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了低的拥有成本,适用于半导体,化合物半导体和相关行业。 P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接
美国Filmetrics优尼康-P-170 台阶仪 的详细介绍
美国Filmetrics优尼康-P-170 台阶仪

P-170 台阶仪
P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪,将P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了低的拥有成本,适用于半导体,化合物半导体和相关行业。 P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
产品名称: 探针式轮廓仪
品牌: KLA
产品型号: P-170
产地: 美国
P-170 Stylus Profiler

P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪,可提供几纳米至一毫米的台阶高度测量功能,适用于生产环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。 P-170的图案识别算法、增强的光学系统和先进的平台,这保证了性能的稳定和系统间配方的无缝移植- 这是24x7生产环境的关键要求。
产品描述
P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪,将P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统适用于半导体,化合物半导体和相关行业。 P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。
该系统结合了UltraLite传感器、恒力控制和超平扫描平台,因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的分辨率相机等功能,程序设置简便快速。P-170具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法,可以支持2D或3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。
主要功能
主要应用
台阶高度:2D和3D台阶高度
纹理:2D和3D粗糙度和波纹度
形状:2D和3D翘曲和形状
应力:2D和3D薄膜应力
缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌
工业应用
半导体
化合物半导体
LED:发光二极管
MEMS:微机电系统
数据存储
汽车
还有更多:请与我们联系以满足您的要求