日本tokyokeiso东京计装HM5000 热质质量流量控制器
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日本tokyokeiso东京计装HM5000 热质质量流量控制器
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简单介绍
日本tokyokeiso东京计装HM5000 热质质量流量控制器大纲HM5000系列是测量各种气体的热式质量流量计和控制器。可以测量和控制从5mL/min(nor)到400L/min(nor)的气体流量,不受温度和压力变化的影响。有两种类型可供选择:用于测量流量的质量流量计和内置控制阀的质量流量控制器,也可用于高性能和广泛使用类型。可以根据应用进行选择。 特征❏ 流量测量范围广适用范围广,从 0
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日本tokyokeiso东京计装HM5000 热质质量流量控制器

大纲
HM5000系列是测量各种气体的热式质量流量计和控制器。
可以测量和控制从5mL/min(nor)到400L/min(nor)的气体流量,不受温度和压力变化的影响。
有两种类型可供选择:用于测量流量的质量流量计和内置控制阀的质量流量控制器,也可用于高性能和广泛使用类型。可以根据应用进行选择。
特征
❏ 流量测量范围广
适用范围广,从 0 到 5mL/min(nor) 到 0 到 400 L/min(nor)。
❏ 高精度
±1%F.S.(高性能型)
❏ 小型化和可靠性的提高
❏ 以下功能可选择添加。
慢启动功能(常闭型) 输出信号:1至5VDC
应用
❏ 工业中的公用燃气供应管线
❏ 各种分析仪器
❏ 半导体气体供应管路
❏ 气体恒流控制和混合控制
❏ 嵌入式设备