日本AMAYA天谷制作所 半导体晶圆设备 AMAX1000S
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日本AMAYA天谷制作所 半导体晶圆设备 AMAX1000S
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简单介绍
用于大规模生产 125 mm 方形和 156 mm 方形太阳能电池的连续大气 CVD 系统AMAX1000S156 平方毫米 每小时 1500 张的吞吐量通过采用SiC托盘来防止重金属污染，通过改进托盘支架来防止包裹背面的措施日本AMAYA天谷制作所 半导体晶圆设备 AMAX1000S特征它是一种满足太阳能电池生产需求的超大规模生产设备，可输送156 mm x 156 mm方形基板和125 mm
日本AMAYA天谷制作所 半导体晶圆设备 AMAX1000S 的详细介绍
用于大规模生产 125 mm 方形和 156 mm 方形太阳能电池的连续大气 CVD 系统
AMAX1000S
日本AMAYA天谷制作所 半导体晶圆设备 AMAX1000S
特征
它是一种满足太阳能电池生产需求的超大规模生产设备，可输送156 mm x 156 mm方形基板和125 mm x 125 mm方形基板。
我们开发了专用分散头以实现批量生产，并开发了双臂输送机构以实现超高速输送。 此外，还增加了新的灯加热机构，以实现超高速和晶圆温度均匀性。
我们开发了一种特殊的晶圆支架，用于高效加热太阳能电池的薄晶圆。
卸料部分使用多级伯努利卡盘来分离晶圆和托盘，并具有冷却功能。
性能
| 涂层厚度均匀性 | ≦±10.0% |
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| 支持的晶圆尺寸 | 156mm方形，125mm方形 |
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| 气体种类 | SiH4，O 2，PH3，B 2H6，N 2 |
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| 沉积温度 | ~430°摄氏度 |
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| 生产力 | 1500 个/小时 |
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主要技术指标
| 设备尺寸 | 1860mm（宽） x 5900mm（深） x 2100mm（高） |
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| 加热机制 | 电阻加热和灯加热 |
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| 装卸 | 装载：卡盘，卸载：伯努利卡盘 |
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| 分散头（气体喷嘴） | A63 长头（标配 3 头） |
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