日本AMAYA天谷制作所 高生产率常压CVD 8英寸AMAX800V
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日本AMAYA天谷制作所 高生产率常压CVD 8英寸AMAX800V
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简单介绍
高生产率常压CVD系统，实现**的连续运行AMAX800V8 英寸高吞吐量，每小时 100 张使用SiC托盘的重金属污染对策和长期稳定的工艺提高可维护性特征通过改进运输机制实现了高吞吐量。SiH4、PH3、B2H6和O2从AMAX型分散头分散后混合，经过优化，在低温低压下更有效地产生热化学反应。 可获得优良的膜厚均匀性和杂质浓度均匀性。碳化硅托盘的使用使重金属污染难以发生。 此外，由于受热引起的老
日本AMAYA天谷制作所 高生产率常压CVD 8英寸AMAX800V 的详细介绍
高生产率常压CVD系统，实现**的连续运行
AMAX800V
8 英寸高吞吐量，每小时 100 张
使用SiC托盘的重金属污染对策和长期稳定的工艺
提高可维护性
特征
通过改进运输机制实现了高吞吐量。
SiH4、PH3、B2H6和O2从AMAX型分散头分散后混合，经过优化，在低温低压下更有效地产生热化学反应。 可获得优良的膜厚均匀性和杂质浓度均匀性。
碳化硅托盘的使用使重金属污染难以发生。 此外，由于受热引起的老化很少，可以获得稳定的工艺性能。
标配自动托盘更换功能，确保工人**，减少维护时间。 此外，自动升高头底座的机制使其易于清洁。
性能
| 涂层厚度均匀性 | ≦±3.0% |
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| 支持的晶圆尺寸 | 8寸 |
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| 气体种类 | SiH4， O 2， PH3， B 2 H6， N 2 |
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| 沉积温度 | 350°C~450°C |
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| 生产力 | 100 ppm。 |
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主要技术指标
| 设备尺寸 | 1460mm（宽） x 3830mm（深） x 2250mm（高） |
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| 加热机制 | 电阻加热 |
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| 装卸 | 机器人 CtoC 传输 |
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| 分散头（气体喷嘴） | AMAX头（标配2头，3头可选） |
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