日本YAMATO雅马拓-等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS
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日本YAMATO雅马拓-等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS
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简单介绍
日本YAMATO雅马拓-等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS13. 56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE:DP双模式。特点硅晶圆的灰化及蚀刻。基板表面污垢处理。IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。半导体相关部品的电子材料的干式清洗。自然氧化膜·有机物去除。界面活性处理。表面污染物去除。
日本YAMATO雅马拓-等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS 的详细介绍
日本YAMATO雅马拓-等离子清洗机 V1000/1000X/1000XS
13. 56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE:DP双模式。
特点
硅晶圆的灰化及蚀刻。
基板表面污垢处理。
IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。
半导体相关部品的电子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有机物去除。
界面活性处理。
表面污染物去除。
