日本YAMATO雅马拓-洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
日本YAMATO雅马拓-洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C
产品型号:
产品展商:
其它品牌
产品文档:
无相关文档
简单介绍
日本YAMATO雅马拓-洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。特点*高工作温度360℃和500℃。采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。可实现快速升温和降温，升降温速
日本YAMATO雅马拓-洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C 的详细介绍
日本YAMATO雅马拓-洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
*高工作温度360℃和500℃。
采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。
磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。
**性
门检测开关
温度过升防止器
氧浓度异常**装置
氮气压力检测
氮气流量检测
冷却水流量检测
漏水传感器
过电流漏电漏电保护开关
