日本KOFLOC小岛-压力调节阀 MODEL 6610 SERIES
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日本KOFLOC小岛-压力调节阀 MODEL 6610 SERIES
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简单介绍
日本KOFLOC小岛-压力调节阀 MODEL 6610 SERIES低压调节专用精密调节器励调节阀MODEL 6610 SERIES与MODEL6600相比。新开发的本仪器在低压侧精度更高，重现性更好。能够快速准确地进行压力调节。本产品*适合用于高灵敏度的分析仪器、研究开发或半导体制造设备。具有低压侧高精度控制的特性将压力设为0.01〜0.15MPa，在此条件下对于一次侧压力变化、二次侧负荷电阻变
日本KOFLOC小岛-压力调节阀 MODEL 6610 SERIES 的详细介绍
日本KOFLOC小岛-压力调节阀 MODEL 6610 SERIES
低压调节专用精密调节器励调节阀
MODEL 6610 SERIES
与MODEL6600相比。新开发的本仪器在低压侧精度更高，重现性更好。能够快速准确地进行压力调节。
本产品*适合用于高灵敏度的分析仪器、研究开发或半导体制造设备。
具有低压侧高精度控制的特性
将压力设为0.01〜0.15MPa，在此条件下对于一次侧压力变化、二次侧负荷电阻变化，具有重现性在±1％以内的高控制性能。
不使用润滑油
接触气体部分由不锈钢、氟橡胶、氟树脂制成，不使用任何润滑油，*适合需要保持纯净状态的半导体领域等。
防松螺母结构
通过防松螺母固定设定过一次的压力调节位置，可防止设定发生变化。
不渗液型
本产品属于不渗液型，不会发生气体外泄，请您放心使用。
用途
用于气相色谱仪
用于高纯度气体控制
用于低压控制设备
用于半导体领域等
尺寸图
标准规格
| 流体 | 各种气体 |
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| 一次侧*大压力 | 0.4MPa |
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| 二次侧控制压力 | 0.01〜0.15MPa |
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| *大流量 | 5L/MIN |
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| *小工作压差 | 0.1MPa以上 |
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| 耐压力 | 0.8MPa |
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| 重现性 | 在额定压力的±1％范围内 |
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| 环境温度 | 5〜60℃ |
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| 接口 | Rc1/8 |
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| 流体接触部分材质 | SUS316、氟橡胶、硬质玻璃
氟树脂、SUS304、SUS303 |
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流量特性
