日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器MODEL DF-250C SERIES

点击看大图

如果您对该产品感兴趣的话,可以

产品名称: 日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器MODEL DF-250C SERIES

产品型号:

产品展商: 其它品牌

产品文档: 无相关文档

简单介绍

日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器MODEL DF-250C SERIES数字质量流量控制器MODEL DF-250C SERIESDF- 250系列是一款高性能数字质量流量控制器，可在1秒内(所有区域)实现低于50 SLM的响应。该系列提供高达500 SLM的高流显系列。DF350DF300DF550DF200标准气体用真实气体校准~50 SLM在整个区域内1秒内快速响应从10SCCM到

日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器MODEL DF-250C SERIES 的详细介绍

日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器MODEL DF-250C SERIES

数字质量流量控制器

MODEL DF-250C SERIES

DF- 250系列是一款高性能数字质量流量控制器，可在1秒内(所有区域)实现低于50 SLM的响应。

该系列提供高达500 SLM的高流显系列。

DF350

DF300

DF550

DF200

标准气体用真实气体校准
~50 SLM在整个区域内1秒内快速响应
从10SCCM到500SLM的阵容
标准配备通讯功能（RS485）
RoHS。符合CE标准

图片关键词

DF-250C标准规范

传感器方式		热绕组传感器
阀门方式		比例电磁阀（未通电时关闭）
目标气体（* 1）		N2，空气，H2，He，Ar，O2，CO2等（未描述的气体是N2当量校准）		空气，N2
流量范围（* 2）		10 SCCM到10 SLM	20至50 SLM （二氧化碳：20至30 SLM）	100,150 SLM	200,300 SLM	400,500 SLM（* 3）
控制范围		2~100％（F.S.）		5~100％（F.S.）
响应速度		总流量控制范围在1秒内（wihtin±2％F。S.）		1.5秒或更短 10％或更少是3秒或更短（在±2％F。内）	2秒或更短（±2％FS内）
响应速度		L：50.149kPa H：150.300kPa		L：150.249kPa H：250.350kPa	L：200。299kPa（* 9）H：300。350kPa
精度（* 4）		±1.0%F.S.			±2.0%F.S.
再现性		±0.25%F.S.			±0.5%F.S.
工作压差（* 5）		50至300千帕（Ar，CO2：100至300 kPa）	100至300千帕（Ar，CO 2：150至300 kPa）	150至350千帕	200 SLM：200至350 kPa 300 SLM：250至350 kPa	400 SLM：200至350 kPa 500 SLM：250至350 kPa
*大入口压力		500kPa(G)
耐压		980kPa(G)
He泄漏率（* 6）		1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下		1 x 10-7 Pa.m3 / sec以下
温度	工作温度	5～50℃
	精度保证温度	15～35℃
	允许储存温度	-10～60℃
允许工作湿度		10～90%RH （无结露）
气体接触材料		SUS316，SUS316L，磁性不锈钢，Ni，PTFE，PCTFE，FKM
电气连接		D-sub 9针KFC标准（符合SEMI标准）， RJ-45模块化插孔x 2			D-sub 9针KFC标准（符合SEMI标准）， HR-10A×2
流量设定信号		0~5 VDC（输入电阻约1MΩ）
流量输出信号		0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上）
数字通信		使用RS485旋转开关设置地址：*多99（9600 bps）
所需电源（DC）		+15 VDC（±5％）：150 mA， -15 VDC（±5％）：150 mA	+15 VDC（±5％）：150 mA， -15VDC（±5％）：250mA		24 VDC（±10％）：450 mA（DC插孔.D-sub）
接头（* 7）		1 / 4F 900（标准），1/4 UJR，Rc1 / 4		1/2 SW（标准），3/4 SW
安装姿势		推荐水平方向
重量（* 8）		约850g	约1000g	约2250g	约3500g