日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器MODEL DF-200C SERIES

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产品名称: 日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器MODEL DF-200C SERIES

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日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器MODEL DF-200C SERIESDF- 200系列是一款高性能数字质量流量控制器，可在1秒(全范围)内实现+1 % SP的精度和响应。此外，它兼容多气体和多量程，可轻松更换包括参考气体在内的7种气体及其流量范围，使其成为具有出色通用性的产品。DF350DF300DF550DF250高精度（±1％SP），高速响应（1秒内所有区域）支持多量程和多种气体

日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器MODEL DF-200C SERIES 的详细介绍

日本KOFLOC小岛-数字质量流量控制器MODEL DF-200C SERIES
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DF- 200系列是一款高性能数字质量流量控制器，可在1秒(全范围)内实现+1 % SP的精度和响应。

此外，它兼容多气体和多量程，可轻松更换包括参考气体在内的7种气体及其流量范围，使其成为具有出色通用

性的产品。

DF350

DF300

DF550

DF250

传感器方式		热绕组传感器
阀门方式		比例电磁阀（未通电时关闭）
目标气体（* 1）		多气体： N2（空气，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2）
流量范围（* 3）		10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2）
控制范围		2至100％（F.S.）
反应能力（* 4）		总流量控制范围在1秒内（±2％F.S.）
反应能力（* 4）		L：50kPa~149kPa　H:150kPa~300kPa
精度（* 5）		±1.0％SP（> 35％F。S.）， ±0.35％F。S.（≦35％F。S.）
再现性		±0.25％FS
工作压差（* 6）		50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa）
*大入口压力		500kPa（G）
耐压		980kPa（G）
He泄漏率（* 7）		1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
温度	允许周围温度	5～50℃
	精度保证温度	15～35℃
	允许储存温度	-10～60℃
允许环境湿度		10～90%RH （无结露）
气体接触材料		SUS316，SUS316L，磁性不锈钢，Ni，PTFE，PCTFE，FKM
电气连接		D-sub 9针KFC标准（符合SEMI标准），RJ-45模块化插孔x 2
流量设定信号		0至5 VDC（输入阻抗约1MΩ）
流量输出信号		0至5 VDC（负载电阻10kΩ或更高）
数字通信		使用RS485旋转开关设置地址：*多99（9600 bps）
所需电源（DC）		+15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接头（* 8）		1 / 4F 900（标准），1/4 UJR，Rc1 / 4
安装姿势		推荐水平方向
重量（* 9）		约850g

（* 1）应为干燥气体，清洁气体，无腐蚀性成分，灰尘，雾气等。

（* 2）使用专用软件，可以更改气体类型或将满量程范围更改为指定满量程（FS）的30％至100％（**CO2的30％至80％）。

（* 3）流量校准单元SCCM和SLM是在0°C和1个大气压下转换为体积流量cc / min和L / min的值。

（* 4）校准气体：保证N2。

（* 5）校准气体：N2，流量范围精度（*大满量程）。

（* 6）工作压差可能因规格而异。

（* 7）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。

（* 8）如需其他接头，请另行询问。

（* 9）没有配件的重量。

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